電子級四氯化鈦electronic grade titanium tPtrafluoridc TiF;白色固體，吸濕性很強，與水反應發出嗤聲。屬於有毒 物質。
定義
熔點123.89 C。升華點284。其製法是採用高純金 屬欽粉直接氟化，反應產物在28U一2y(1℃進行升華純化。可 獲得純度達99%的四氟化鐵產品:四氟化欽在微電子工業 y用作化學氣相沉積或離子注人形成矽化欽或欽膜，製作低 電阻、高熔點的電路互連線和柵極二
電子級四氯化鈦electronic grade titanium tPtrafluoridc TiF;白色固體，吸濕性很強，與水反應發出嗤聲。屬於有毒 物質。