電子級六氟化鎢electronic grade tuug}ten hexafluortde }fi }常溫F是無色、無臭、有毒氣體。
介紹
在大氣壓卜} I7.lC'冷 凝為淡黃色的液體，低於2飛‘時生成白色#l體。是一種刺激 性和腐蝕性很強的氣體。TLV 1 .fl mg}rn'':液體密度 3441 }cgJn八15})、沸點}7.2C'。只相點2。℃其製法是 采川高純金屬鎢粉末直接氟化，在一8U C'岡收六氟化鶴，經真 空蒸餾[-1U-_.lU}),在低溫下收集高純六氟化鎢產品一在 微電子工業和材料加工改性中，六氟化鎢川於離子注入或化 學氣相沉積矽化鎢或鎢膜，用以製作低電阻、離熔點的電路互 連線和柵極，還有抗X射線或Y射線的保護罩，高效太陽能 吸收器。
