介紹電子級五氯化砷elertrnnic grade ar5enir penta士luaridc As凡無色、劇毒氣體。沸點一52.RC"熔點一79.80:。液 體密度233UkgIm;(一52.8r')，可採用二氧化二砷直接氟化 工藝製取粗五氟化砷，經蒸餾提純可得到純度為99.0%的產 品。}i.化砷在微電子工業中用作離子注入氣.
