介紹
電子級三氯甲烷clcctr}nic grade trifluoromethan} C;HF:別名氟仿。無色、無臭、不可燃氣體、與可燃性氣體 燃燒時分解產生有毒氟化物液體密度1442icc Im3 (一}a . nr} }。沸點一}2 . il`C熔點一155.2::其製法是採用 CHC1F,催化歧化反應工藝製取粗品:CHCI凡 CHF;十 L tiCl; + C'C'1ZFz，經間歇精餾，可製取高純三氟甲烷產品.、微 電子一業J’泛套用的等離子刻蝕氣體之一，特別是對二氧化 矽膜的刻蝕。還用於低溫混合製冷劑，有機合成中問體，紅外 檢測器直接冷卻齊」等.
