定義介紹
電子束杭蝕劑electron beam rc5i:;t用電子束輻照的杭 蝕劑可制出比1}em還細的線條，片子可不用掩模直接製作並 實現高度自動化。電子束抗濁劑卞要由具有線型鏈的聚合物 組成，對電子束輻照導致兩種類型的相互作用，即化學鍵斷裂 和輻射誘發的大分子鏈交聯_在化學鍵斷裂或鏈被切斷時， 聚合物分子景便減小，若平均分子量被減小到足夠小、就能在 溶劑中溶解，而對未受輻照的高分子量區域並不發生作用。能 發生斷鏈的聚合物稱為正性電f束抗蝕剎，李七代表.導.種是聚甲基丙烯酸甲配}聚合物與七子束之間的第二種作用是輻射 誘發的大分子交聯，產生隨機的三維結構，其分子量高出於未 被輻照的區域。交聯現象處於支配地位的聚合物稱為負性電 子束抗蝕劑，顯影同樣地也是將低分子量區域溶解，形成圖 形。丙烯酸縮水甘油醋和丙烯酸乙酷的共聚物是一種常見的 負性電子束抗蝕劑。
