離子束抗蝕劑

離子束杭蝕劑icn f,r"<<tn rPSiSt J}}聚焦離子柬作曝光源的杭蝕刑，由於聚焦離f柬叮以進行掃描誘發輻射化學反應，在固體內的散射範圍因質覺大要比電r束小f}J個數星級以上，因而無鄰近效1."1.離f'束抗i?L}t}j可以達到高於電子束抗蝕劑的分辮率((U.UStam以卜)，是進行。一1 }}m以下創像加」}t'J要技術通常的一些輻射線抗蝕劑，如甲從丙烯酸甲f}}等均可被川件離j_束杭蝕}}l