定義介紹
電子束感光樹脂eleetrm beam pl:otr}raphic resin指以 電子束為光源使用的感光樹脂。電子束的能量相當高，足以 將被轟擊的各種聚合物鏈斷裂，生成離子或自由基，進而發生 光分解或光交聯反應。目前在實際電子束光刻加工中使用的 感光樹脂還主要同x射線型感光樹脂相同，雖然根據電子束 能髦判斷可用的聚合物要多得多。電子束的波粒止相性已經 很小，因此在電子束光刻工藝中獲得的解析度極高，主要作為 大規模積體電路的製備。比較常_見的這類光刻膠包括聚甲基 丙烯酸酷類、聚烯礬類、環氧類、聚苯乙烯類和有機矽聚合物 類.都是正性光刻膠。
