《電子工業用氣體:5N氯化氫(GB/T 24469-2009)》於2009年11月第一版、第一次印刷。本標準根據GB/T14602－1993《電子工業用氣體氯化氫》同類產品標準，結合原料、生產工藝特點及半導體工藝對氯化氫產品的新要求而制定。由全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會（SAC/TC203）提出並歸口。並由中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局－中國國家標準化管理委員會於2009年10月發布，並於2009年12月實施。
基本介紹
- 書名：電子工業用氣體:5N氯化氫
- 作者：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
- 出版日期：2009年11月1日
- 語種：簡體中文
- ISBN：155066139240
- 外文名：Gas for Electronic Industry-5N Hydrogen Chloride
- 出版社：中國標準出版社
- 頁數：10頁
- 開本：16
- 品牌：北京勁松建達科技圖書有限公司
《電子工業用氣體:5N氯化氫(GB/T 24469-2009)》由中國標準出版社出版。
