雷射刻阻機,雷射波長為1064/532/355nm,雷射頻率為200Hz-50KHz 。
基本介紹
- 中文名:雷射刻阻機
- 雷射波長:1064/532/355nm
- 雷射平均功率::10W / 20W / 7W(UV355)
- 雷射頻率::200Hz-50KHz
設備特點,技術參數,套用和市場,
設備特點
--調阻精度高:先進的雷射器提供了TEM00高光束質量和極細線寬的雷射束;四線制高速測量系統,測量時間僅為25us;擁有軟體預調誤差補償功能;
--調阻速度快:先進的雷射器擁有極高的重複頻率,在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度;德國進口掃描振鏡,掃描速度極快;高精度分步重複機構,空氣軸承,移動速度及加速度快;
--可靠性高:整機配置核心器件均採用原裝進口配置;採用花崗岩台座,穩定可靠;
--功能強大:擁有溫度實時補償功能;同時具有雷射劃片和打標功能;
--運行及維護成本低廉:採用半導體端面泵浦或光纖雷射器;使用壽命長,性能穩定;電光轉換效率高,節約用電成本;採用風冷系統,無須外置冷卻設備;操作簡單,無須高額培訓成本;
技術參數
--雷射器系統:
雷射類型:半導體端面泵浦雷射器 / 光纖雷射器
典型光斑尺寸:30μm
實際切口取決於材料、光學器件和波長;可根據需要選配532綠雷射或355紫外雷射最小光斑達12μm
泵浦源使用壽命:20,000—100,000小時
冷卻方式:風冷
對焦方式:電腦程式控制
--雷射束定位系統:
雷射束運動範圍:75mmX75mm(可選配其他規格)
點到點運動時間:5ms(典型)
最大速度:7000mm/s
重複定位精度:2.5μm
雷射束最小步進:0.76μm
--圖像監視系統:
監視方式:雷射同軸監視
最大放大倍數:>100倍
圖像監視顯示屏:19寸液晶
--測量系統:
激勵方式:電流/電壓激勵
恆流源:0.01μA~100mA計算機程控選擇
恆壓源:0~20V計算機程控選擇(可選其它電壓範圍)
電阻測量方式:四線制加電流測電壓
直流電壓測量:10mV~10V(滿程電壓)
調節對象發熱控制:程式可設定
電阻測量精度:低阻:<0.05%+1%/R (R<100Ω)
中阻:<0.05%
高阻:<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ)
電阻測量範圍:0.01Ω-500MΩ
電阻測量速度:25μs
直流電壓解析度:0.16μV(在10mV滿量程條件下)
探針板:44針11組四線制(可選其它規格)
探針板運動:電腦程式控制
--計算機及軟體系統:
工業控制計算機(雙核),17寸液晶
作業系統:Windows XP
VB平台開發的可視化套用軟體,界面友好,功能強大
--分步重複運動系統:
運動XY範圍:290x260mm
運動解析度:1μm
定位精度:小於6μm(帶誤差補償)
重複定位精度:小於3μm
最大運動速度:900mm/s
具有溫度補償等功能
--非接觸溫度測量:
溫度測量精度:0.2℃
調阻溫度修正:電腦程式控制
--其它技術指標:
供電電壓:220V AC
整機功耗:小於1000W
套用和市場
套用和市場:主要套用於厚膜、薄膜電路的精密調節。廣泛套用於厚膜混合積體電路、電子元器件、汽車電器、感測器、軍工科研、片式電阻等行業。