離子銑技術

離子銑技術（Ion milling technology）是指利用離子束對固體表面進行銑加工的技術。離子銑技術的優點是表面加工精度非常高，表面損傷小。離子銑技術可以代替光刻工藝，用來刻蝕器件或電路圖形，它不僅刻蝕精度高，而且不會造成沾污或遺留雜質。但離子銑床比光刻機昂貴。

基本介紹

• 中文名：離子銑技術
• 外文名：Ion milling technology
• 釋義：利用離子束對固體表面進行銑加工
• 特點：表面加工精度非常高
• 缺點：離子銑床比光刻機昂貴
• 用途：刻蝕器件或電路圖形

離子銑裝置

離子銑技術是利用離子束對固體表面進行銑加工的技術。離子銑裝置如下圖1所示。

圖1離子銑裝置

工藝步驟

離子銑加工方法，其特徵在於，包括：

剖面製作工序，其中，使試料台以相對於離子束源照射的離子束的光軸垂直或大致垂直的傾斜軸為中心擺動，使保持於該試料台、且一.部分被掩膜遮蔽而不被離子束照射的試料的加工面，沿著垂直於由離子束的光軸和傾斜軸規定的面的面擺動，同時製作由所述掩膜規定的、沿著離子束的光軸的試料的加工面；

平滑化工序，其中，使保持於所述試料台的試料以垂直於由離子束的光軸和所述傾斜軸規定的而的軸為中心，在如下兩個狀態之間，沿著由離子束的光軸和傾斜軸規定的面擺動，從而使因實施所述剖面製作工序而在該試料的加工面上產生的筋狀的凹凸平滑，其中一個狀態是該試料的加工而朝向傾斜軸方向的、沿著離子束的光軸方向的面狀態，另一狀態是該試料的加工面在離子束的光軸方向上朝向所述離子束源側傾斜的、所述加工面與離子束的光軸以低角度即0度至20度交叉的面狀態。

優點

離子銑技術的優點是表面加工精度非常高，表面損傷小。離子銑技術可以代替光刻工藝，用來刻蝕器件或電路圖形，不僅刻蝕精度高，而且不會造成沾污或遺留雜質。