《離子注入生物誘變機理及生物效應研究》是依託北京師範大學，由陸挺擔任項目負責人的重點項目。
基本介紹
- 中文名：離子注入生物誘變機理及生物效應研究
- 依託單位：北京師範大學
- 項目負責人：陸挺
- 項目類別：重點項目
- 負責人職稱：研究員
- 批准號：19135023
- 研究期限：1992-01-01 至 1994-12-31
- 申請代碼：A3010
- 支持經費：12.5（萬元）
項目摘要
開發出MOCVD工藝模擬系統。在開發過程中，主要側重於：1、尋求儘可能完善、精確、實用的理論模型；2、尋求快速有效的數值計算方法；3、系統的通用性和界面的友好性。以使系統更具實用性，滿足用戶的需要。這個複雜龐大的系統包含三個子系統：反應室流體力學模擬系統，用於計算反應室內氣流速度，溫度，壓力分布；化學反應熱力學模擬系統，用於計算化學反應相圖；沉積過程力學模擬系統，用於計算沉積速率。它們可以各自獨立運行，分別進行模擬，還可以聯立運行，實現對MOCVD進行全方位整體模擬。這套系統已具備相當好的模擬設計能力，但還僅限於模擬平衡或準平衡體系（如GaAs），不能用於GaN一類的非平衡體系。關於非平衡體系的MOCVD工藝模擬研究，是我們下一步的研究目標。
