離子束髮射器

離子束髮射器是一種用於農學領域的工藝試驗儀器，於2012年10月12日啟用。

基本介紹

• 中文名：離子束髮射器
• 產地：中國
• 學科領域：農學
• 啟用日期：2012年10月12日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

（1）離子能量：0～35keV（2）離子束流：0～15mA（3）離子束均勻度：≥90％（4）離子束直徑：＞180mm（5）主靶室容積：Φ600mm×600mm（暫定尺寸）（6）小靶室容積：Φ128mm×235mm（暫定尺寸）（7）控制系統：PLC，人機界面觸控螢幕。

主要功能

低能離子注入機能提供N、Ar等多種離子束流，可以準確定量地向樣品內注入離子，主要用於誘變育種。