離子束混合

中文名稱離子束混合
英文名稱ion beam mixing
定  義藉助惰性氣體離子束的轟擊,使沉積的薄膜和基底之間,或者膜層與膜層之間,通過原子間的碰撞相互混合的方法。
套用學科材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),表面改性和塗層技術(四級學科)

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