雙極-CMOS積體電路

雙極-CMOS積體電路(BiCMOS)由雙極型門電路和互補金屬-氧化物——半導體（CMOS）門電路構成的積體電路。特點是將雙極（Bipolar）工藝和CMOS工藝兼容，在同一晶片上以一定的電路形式將雙極型電路和CMOS電路集成在一起，兼有高密度 、低功耗和高速大驅動能力等特點。

基本介紹

• 中文名：雙極-CMOS積體電路
• 製造技術：高速BiCMOS器件製作技術
• 典型套用：通信用數字邏輯電路
• 發展趨勢：一個重要研發方向

雙極-CMOS積體電路(BiCMOS)

雙極-CMOS積體電路(BiCMOS)雙極-CMOS積體電路(BiCMOS)由雙極型門電路和互補金屬-氧化物——半導體（CMOS）門電路構成的積體電路。特點是將雙極（Bipolar）工藝和CMOS工藝兼容，在同一晶片上以一定的電路形式將雙極型電路和CMOS電路集成在一起，兼有高密度 、低功耗和高速大驅動能力等特點。

雙極-CMOS積體電路(BiCMOS)

高性能BiCMOS電路於20世紀80年代初提出並實現，主要套用在高速靜態存儲器、高速門陣列以及其他高速數字電路中，還可以製造出性能優良的模/數混合電路，用於系統集成。有人預言，BiCMOS積體電路是繼CMOS積體電路形式之後最現實的下一代高速積體電路形式。

BiCMOS器件和電路及其製造技術

（1）高速BiCMOS器件製作技術

1）以CMOS為基礎的BiCMOS工藝

BiCMOS技術是將單、雙極兩種工藝合適地融合在一起的技術，但這絕不是簡單、機械地摻和在一起，很多工藝可以一塊兒或設法結合在一起做。BiCMOS工藝主要有兩種：一是以CMOS為基礎的BiCMOS工藝，這種工藝對保證CMOS器件的性能較為有利；二是以雙極工藝為基礎的BiCMOS工藝，這種工藝比較張揚BJT器件的性能。圖1是以CMOS為基礎的0.8μm BiCMOS器件的縱向剖面圖。

BiCMOS－C型是只使用少數雙極性電晶體來驅動長線一輸出快取器，而BiCMOS－E型則主要是以ECL技術為主，用CMOS電晶體做為大型存儲部件。這兩種類型的BiCMOS由於需要將雙極性晶

雙極-CMOS積體電路(BiCMOS)體管和MOSFET（金屬氧化半導體場效應電晶體）集成於同一晶片，生產工藝複雜，比製造同種複雜程式的CMOS器件花費要高，它的成功與否將取決於CMOS、GaAs在其各自套用領域取得成功的程度。BiCMOS－E性能不及GaAs與純ECL技術，因此在高檔套用場合性能不能與GaAs與純ECL相抗衡。另一方面，BiCMOS的價格又不如CMOS便宜，因此，BiCMOS－C必須爭取在價格上接近於CMOS，而在性能上又要能趕上GaAs技術。

雙極-CMOS積體電路(BiCMOS)

由圖1可見，以外延雙阱CMOS工藝為基礎，在N阱內增加了N+埋層和集電極接觸深N+注入（圖中左邊BJT），以減少BJT器件的集電極串聯電阻阻值，降低飽和管壓降；用P+區（或N+區）注入製作基區；發射區採取多晶矽摻雜形式，與MOS器件的柵區摻雜形式一致，製作多晶矽BJT器件。因此這種高速BiCMOS製造工藝原則上不需要增加其它的重要工序。

2）以雙極工藝為基礎的BiCMOS工藝

在國外，先進的雙極工藝一旦被開發出來，就被用於BiCMOS工藝。以雙極工藝為基礎的BiCMOS工藝即為一例，這種工藝的BiCMOS既顧全了CMOS器件，使其與純CMOS工藝中的器件相比性能毫不遜色；同時又兼顧了BJT器件，使其與新的純雙極工藝中的器件不相上下。

這種工藝是在雙阱CMOS工藝中加上精心設計的4張版圖來製作BJT器件的。該BiCMOS工藝中BJT器件的外基區和PMOS管的源、漏區同時形成，BJT器件的發射區可與NMOS管的源、漏區同時形成。所製作的BiCMOS器件縱向剖面圖如圖2所示。

雙極-CMOS積體電路(BiCMOS)

雙極-CMOS積體電路(BiCMOS)

（2）高速BiCMOS電路製作工藝和微細加工技術的特殊考慮

1）雙阱結構中的阱結構尺寸及其埋層

對BiCMOS電路來說，需要仔細研究CMOS阱和BJT器件的集電極的工藝要求。一個主要的工藝設計折衷方案涉及到外延層和阱的輪廓特性。對於BJT器件，一方面集電極-發射極之間的反向擊穿電壓U（BR）CEO、集電極電阻和電容，以及生產工藝的可控制性決定了外延層的最低厚度；另一方面，如果外延層太厚，特徵頻率fT就會下降而集電極電阻RC值就會增大。對於MOS器件，在製作PMOS器件時使用N+埋層就要求外延層必須足夠厚，以避免過大的結電容和PMOS器件的背偏置體效應（back-bias body effect）。

雙阱結構中的N阱不僅影響PMOS器件，而且也可作為NPN型BJT器件的集電極。因此，除了應充分保證CMOS器件的性能以外，N阱摻雜既要足夠重以防止Kirk效應（Kirk effect），同時又應足夠輕，以增高BJT器件的U（BR）CEO。

2）外延層與自摻雜

在兩種類型的埋層上生成輕摻雜的薄外延層，對外延沉積工藝來說是一種挑戰。必須使在垂直和水平方向的兩種類型雜質的自摻雜儘量地小，以避免在阱中需要過量的反摻雜。

3）利用雜質離子注入降低MOS器件閾值電壓

在PMOS器件的溝道區通過硼離子注入調節，降低其閾值電壓；製作NMOS器件溝道區時注入磷離子，不僅可使NMOS器件的閾值電壓分散性大為減小，而且還可減小N阱同P型襯墊的摻雜濃度比值。這一技術意味著N阱區摻雜濃度可以降低，因而NMOS器件的閾值電壓大為減小，結果使通信用BiCMOS電路可在低電源電壓（3.3V）下工作。

4）用矽柵自對準工藝減小交疊電容

製作MOS器件時採用矽柵自對準（在柵下源、漏區極少擴展）工藝，使柵-源和柵-漏擴散區的重疊大大減小，柵-源及柵-漏交疊電容相應地大為減小。這樣做有利於矽柵雙阱BiCMOS電路的工作速度得以提高。此外，矽柵自對準工藝也可明顯減小設計同樣溝長的MOS器件所需要的版圖尺寸，因而晶片的集成度得到了提高（大約提高30%）。

5）用高電阻率P型矽襯墊來提高工作速度

BiCMOS器件應採用高電阻率P型矽襯墊，這樣既與CMOS、射極耦合邏輯電路（ECL）和砷化矽（GaAs）工藝有良好的兼容性，又降低了NMOS器件的結電容，有利於提高通信和信息處理用BiCMOS電路的速度。

先進的BiCMOS技術在通信領域的典型套用

（1） 通信用數字邏輯電路、數字部件和門陣列等

由第二節可知，BiCMOS電路的最佳化組合是用CMOS電路充當高集成度、低功耗的電路部分，而僅用雙極型電路來做輸入/輸出（I/O）電路部分，這是最早的BiCMOS數字積體電路的設計方案。後來，更先進的BiCMOS技術將BJT器件也集成到邏輯門中。與傳統的CMOS門一樣，由於門電路輸出端兩管輪番導通，所以這種BiCMOS邏輯門靜態功耗接近於零，而且在同樣的設計尺寸下，它們的速度將更快。儘管BJT器件的加入會增加20%的晶片面積，但是考慮到其帶負載能力的增強，BiCMOS門的實際集成度比CMOS門將有所增加。比較典型的BiCMOS邏輯門有：反相器（非門）、三態緩衝/驅動器、與非門和或非門，它們分別如圖3（a）、（b）、（c）、（d）所示。本課題對這4個門均已進行了硬體電路實驗，所得實驗數據為：平均傳輸延遲僅為十幾納秒，靜態功耗近似為零，動態平均功耗也只有1～2mW。

雙極-CMOS積體電路(BiCMOS)

雙極-CMOS積體電路(BiCMOS)

BiCMOS邏輯門在通信數字部件（如編碼器、解碼器和模/數轉換器等）和門陣列的套用中極為廣泛，因為它的扇出數一般為5～8，如此大的扇出數意味著具有較強的帶負載能力，而且BiCMOS門比CMOS門能更快速地驅動這些負載。另外，BiCMOS門中的器件尺寸可以是一致的，這就降低了通信數字部件在物理設計上的難度；不同的CMOS電路對減小單位負載的傳輸延遲往往不同，而對於BiCMOS電路，由於雙極型推挽BJT器件隔開了CMOS電路的主體與負載，使得不同電路中負載的狀況變差都是相同的，這樣就簡化了通信和信息處理用數字邏輯部件和電路的設計任務，提高了工作效率。

（2） 通信用數位訊號處理器（DSP）和微處理器（CPU）

若通信DSP和CPU等採用CMOS工藝，則晶片外主線就要有較大的帶電容負載的能力。傳統的接口驅動電路採用雙極工藝製作，這樣可以保證數據傳輸速度，但是功耗卻大了些。以32位CPU為例，它包含有10個或者更多的接口器件，但同一時間內只有一條主線是激活的，亦即每一條主線有90%的時間不工作。由於這種接口器件是單純雙極型的，即使不在工作時它也在不停地消耗功率，所以整個CPU的靜態功耗將會增大。

如果用BiCMOS器件做成接口驅動電路，則處於非門工作狀態的驅動器取用的電流就要小多了。在很多情況下，靜態功耗可以節省接近100%，而傳統主線接口驅動電路的功耗約占整個系統功耗的30%，故這種節電效果非常顯著，因而特別適用於手機、個人數字處理器和筆記本電腦等一類使用電池的通信、計算機和網路設備中。更為有利的是，BiCMOS數字積體電路的速度與先進的雙極型電路不相上下，這與高速數字通信系統的速度要求是相適應的。

用0.8μm BiCMOS已研製出主頻為100MHz的32位CPU電路。該電路中CMOS器件占97%，而BJT器件只占3%，BJT器件僅用於驅動大負載電容或放大小的電平擺幅信號。圖4為算術邏輯單元（ALU）中四位一組的BiCMOS進位傳輸電路。圖中Φ1為系統時鐘，Φ2為預充時鐘。由於BJT器件的存在，預充電平決定於BJT器件發射結壓降，所以預充電平降低為0.8V上下。電平擺幅的減小有利於提高該電路的運算速度。32位字長的ALU要求有8個這樣的進位傳輸電路，它的總傳輸延遲只有7.2ns，功耗也只有十幾毫瓦。

（3） 通信用BiCMOS SRAM和ROM等

由於純CMOS工藝無法生產出通信專用的高速度、大負載驅動能力的SRAM和唯讀存儲器（ROM）晶片，而BiCMOS SRAM和ROM晶片擁有與CMOS SRAM和ROM較為接近的集成度、功耗和更高的速度，故先進的BiCMOS技術給SRAM和ROM產品的速度、容量和功耗等性能指標的調和、折衷和互補提供了迴旋餘地。現以BiCMOS SRAM為例，介紹圖5所示的設計方案。它的主體存儲矩陣用P阱中專門設計的BiCMOS存儲單元組成，所設計的6管BiCMOS存儲單元如圖6所示，製作這種BiCMOS存儲矩陣的模組區與CMOS的大致相同或略高；而圖5中的地址解碼器、字線/位線驅動器和讀寫控制電路及靈敏放大器等則可用BiCMOS電路。與全CMOS SRAM相比，本文提出的BiCMOS SRAM在低壓（VDD=3.3 V）下，其存儲單元存取速度提高了接近3倍，讀/寫一次僅需時6~8 ns，而且其備用單元功耗約為45.2nW/bit，而實用單元功耗也只有6.89μW/bit，均為較低的存儲單元功耗水平。這一結果充分表明了新的BiCMOS SRAM電路結構是通信用高速、低壓SRAM中較為理想的一種設計方案。

雙極-CMOS積體電路(BiCMOS)　　雙極-CMOS積體電路(BiCMOS)

雙極-CMOS積體電路(BiCMOS)

雙極-CMOS積體電路(BiCMOS)

同理，該設計思路同樣適用於ROM和可程式邏輯器件（PLD）的字線/位線驅動器、改寫電路和讀控制電路以及其它通信ASIC晶片的存儲系統中。

（4） 通信模/數混合電路的套用

用BiCMOS工藝可以將模擬和數字電路集成在同一塊晶片上。當然晶片上大部分面積是有數位訊號處理功能的CMOS單元電路，而剩下的晶片面積（約占15%～20%）用來做模擬電路單元以及晶片與外界模擬世界的接口電路。這些模擬電路單元包括I/O（包含電阻和NPN型BJT器件）、用BJT器件製作的運算放大器、參考電壓和電流源、鎖存比較器和NPN型BJT器件組成的模擬電路（例如直接用來驅動LED的電路）等。這種專用晶片可以用來做SDR系統的ADC和DAC、接/發射機的模/數混合電路以及其它通信系統套用場合。

因為MOS管的閾值電壓UTH對工藝過程和器件尺寸非常敏感，而BJT器件的開啟電壓UBE比UTH更容易精確控制，所以BJT器件更容易得到性能良好的匹配對管。這種優良匹配對管的雙極型集成運算放大器的補償電壓比MOS運放小一個數量級。BiCMOS運算放大器具有雙極型電路部分的低輸入補償電壓和高增益，以及CMOS電路部分的低功耗和高集成度。這種強強聯合的先進工藝，亦被用於軟體無線電（SDR）系統中的高速、低功耗A/D和D/A轉換器。

BiCMOS技術在通信領域的套用前景和發展趨勢

（1） 通信SOC高性能BiCMOS技術的一個重要研發方向

最近幾年來，通信套用頻率正在不斷增加，幾乎所有套用領域都將進入雙吉赫茲頻段。如何順應通信形勢發展的要求，將通信系統中多種功能集成在一個晶片上，即組成片上系統（System On a Chip，簡稱SOC），則無疑是一種較佳的解決方案。這樣一來，SOC不再僅僅限於低頻CMOS晶片的設計中，而且也包括了高頻有線和無線通信BiCMOS晶片，這是當今高性能BiCMOS技術的一個重要研發方向。

SOC的概念是在20世紀90年代提出來的，它既克服了多晶片集成系統製作和運行中所產生的一些困難，又獲得了更高的系統性能。例如，CPU晶片工作速度非常高（傳輸延遲小於幾十皮秒），但是如果存儲器晶片依舊與CPU分開，則由於訪址延時的加入，這種高速性能在計算機通信和未來個人通信中就體現不出來。即便使用光束傳送信號，延時也只有3.3ps/mm。這就要求把存儲器和CPU集成到一個晶片上去。可以預見，將更多功能集成到一個晶片上，還能解決今後晶片管腳數目增多、測試困難和成本較高等一系列問題。

SOC主要有3種類型：一是以CPU為核心，集成各種存儲器、控制電路和系統時鐘等，乃至集I/O功能和A/D、D/A轉換功能於一個晶片上；二是以數位訊號處理器（DSP）為核心，多功能集成；三是上述2種之混合或者把系統算法與晶片結構有機結合的SOC。

總之，SOC的發展並不僅僅是設計上的問題，而且也是先進的工藝技術的實現問題。SOC是很多模組的集成，而且各種模組電路功能的不同，對工藝的要求也是不一樣的，有的要求高集成度，有的要求高速，有的要求強驅動，有的則要求低功耗；有的是數字電路，而有的則是模擬電路。但是，BiCMOS工藝更能滿足如此複雜的技術要求，先進的BiCMOS技術將會使發展通信SOC如虎添翼。

（2） 低壓、全擺幅、高速BiCMOS電路的一個研究熱點

如今，數字通信和internet網路的電子產品對其中VLSI晶片低電源電壓、全輸出邏輯擺幅的要求日趨迫切。例如攜帶型電子產品（如手機、筆記本電腦和個人數字助理等）因用電池供電，故電源電力極為有限，降低電源電壓不僅對減少電池充電次數、延長電池壽命，而且對減小IC器件的電場強度，以防止熱擊穿或熱電子效應，都是非常必要的。先進的BiCMOS技術已被證明在低壓、高速方面優於CMOS技術。但是，BiCMOS數字積體電路存在的問題是：降低電源供電電壓，勢必影響到提高工作速度。已設計成功的邏輯單元電路有：瞬時飽和全擺幅式、電荷泵抽取式、鉗位全擺幅式（圖3（b））、自舉全擺幅式BiCMOS數字邏輯集成門電路、BiCMOS三態門和BiCMOS連線邏輯電路等等。