《雙束雷射輔助分子束原位沉積複合薄膜機理研究》是依託華中科技大學，由王秋良擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：雙束雷射輔助分子束原位沉積複合薄膜機理研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：王秋良
- 依託單位：華中科技大學
- 批准號：60873049
- 申請代碼：E0205
- 負責人職稱：研究員
- 研究期限：2001-01-01 至 2003-12-31
- 支持經費：19（萬元）
中文摘要
提出採用雙束雷射輔助分子束原位沉積複合薄膜的新方法，利用高速氣體側吹由兩束準分子雷射同步照射兩個不同的靶材所誘導出的並在空間反應混合的電漿，在置於氣流對面的基片上沉積出顆粒細密均勻且組份可連續調節的複合薄膜。既可用於目前慣性約束聚變中所需的金屬摻雜混合薄膜靶的製備，還可用於其它功能材料薄膜的製備，具有重大科學意義。
