陳大鵬(中國科學院陳大鵬)

1968年10月出生，1990年畢業於合肥工業大學化學系高分子專業，1995年於中國科學技術大學獲高分子化學理學碩士學位，2000年於中國科學技術大學獲核技術及套用工學博士學位。研究領域為微細加工技術。

基本介紹

• 中文名：陳大鵬
• 出生日期：1968年10月
• 畢業院校：合肥工業大學
• 主要成就：微米積體電路關鍵技術研究”獲北京市科技進步一等獎

簡歷

從碩士研究生開始即從事新型X射線光刻膠及下一代光刻技術工藝的研究，碩士論文題目為《新型X射線光刻膠的研製》，博士論文題目為《利用同步輻射的微細加工技術》，在同步輻射（X射線）光刻及微細加工領域作過多年套用技術研究，作為主要骨幹參加如下重大國家科技攻關項目：

獲獎及榮譽

2003年“0.1-0.35微米積體電路關鍵技術研究”獲北京市科技進步一等獎

承擔科研項目情況

(1)“九五”國家重點科技攻關項目97－762“0.1-0.35微米積體電路關鍵技術研究”的子專題97－762－03 “先進的深亞微米工藝技術”；

(2)科學院重大創新方向性項目“電子束縮小投影光刻機（SCALPEL）”的子課題“投影電子束掩模研製”；

(3)科技部863項目“多感測器及陣列感測器集成”；

(4)科技部863項目“無掩模光刻系統”；

(5)科技部863項目；

(6)自然基金儀器專項“新型光學讀出非製冷紅外成像系統”；

(7)自然基金“懸臂樑微尖端陣列器件加工及套用技術研究”；

(8)中科院知識創新方向性項目；