《陣列式空間超分辨共焦顯微掃描探測技術與理論》是依託哈爾濱工業大學，由譚久彬擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：陣列式空間超分辨共焦顯微掃描探測技術與理論
- 依託單位：哈爾濱工業大學
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：譚久彬
- 批准號：50675052
- 申請代碼：E0511
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2007-01-01 至 2009-12-31
- 支持經費：28（萬元）
項目摘要
提出一種具有三維超分辨層析能力兼有快速、寬範圍成像能力的陣列共焦顯微掃描探測方法。主要研究內容：1、基於共焦陣列顯微原理的離軸照明下三維相干成像理論及微結構光學超分辨方法；2、三維超分辨共焦陣列顯微探測的新方法、新技術，使提高掃描探測效率的同時，有效提高三維非連續微結構表面探測的橫向和軸向分辨力；3、利用超磁致伸縮驅動技術實現大範圍、高精度、快速宏-微結合的掃描測量方法；4、採用針孔探測與環形探測器相結合的光強信號探測新方法，使進一步提高橫向探測分辨力；5、主要技術指標：軸向（Z向）測量範圍為0.5mm，軸向分辨力為20nm，橫向分辨力優於0.2um（爭取達到0.1um）。該項目的完成，可解決經典共焦顯微系統中存在的掃描效率、工作範圍與三維分辨力之間的矛盾；可建立起陣列並行超分辨共焦掃描探測（或成像）理論；可廣泛用於超大規模積體電路晶片、微結構和微陣列光學器件等製造領域。
