《基於雙折射光瞳濾波的超分辨差動共焦顯微感測機理》是依託哈爾濱工業大學，由鄒麗敏擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：基於雙折射光瞳濾波的超分辨差動共焦顯微感測機理
- 依託單位：哈爾濱工業大學
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：鄒麗敏
項目摘要,結題摘要,
項目摘要
提出研究基於雙折射光瞳濾波原理的超分辨差動共焦顯微感測方法與技術。主要研究內容：1、基於徑向雙折射光瞳濾波原理的超分辨成像理論研究；2、基於徑向雙折射光瞳濾波原理的超分辨共焦顯微探測方法與技術研究；3、基於雙折射原理的液晶變焦式軸向掃描方法研究，將液晶變焦透鏡引入到光學系統中，軸向不需要機械部件的移動就可以達到掃描的目的，在提高掃描速度的同時，可以降低機械部件移動帶來的測量誤差；4、基於上述測量方法和各單元技術集成基礎上的超分辨差動共焦感測原理樣機的研製。主要技術指標：縱向分辨力優於2nm，橫向分辨力優於0.1微米。該測量系統可實現一種新型的空間超分辨光探針掃描探測技術，可廣泛套用於超大規模積體電路晶片、微結構和微陣列光學器件等製造領域。
結題摘要
本項目研究了一種基於雙折射光瞳濾波原理的超分辨差動共焦顯微感測方法與技術。主要完成以下工作：1、建立了基於徑向雙折射光瞳濾波原理的超分辨成像理論；2、完成了基於徑向雙折射光瞳濾波原理的超分辨共焦顯微探測方法與技術的研究；3、完成基於雙折射原理的液晶變焦式軸向掃描方法研究，將液晶變焦透鏡引入到光學系統中，軸向不需要機械部件的移動就可以達到掃描的目的，在提高掃描速度的同時，降低了機械部件移動帶來的測量誤差；4、完成基於上述測量方法和各單元技術集成基礎上的超分辨差動共焦感測原理樣機的研製。主要技術指標：縱向分辨力優於3nm，橫向分辨力優於0.1微米。該測量系統可實現一種新型的空間超分辨光探針掃描探測技術，本研究內容中關於雙折射超分辨理論的研究成果已經直接套用於國家重大科學儀器專項子項目超高解析度反射式立體層析共焦顯微鏡”的研製中,使共焦系統的橫向分辨特性得到有效改善; 5、本項目培養研究生7人 ,發表論文SCI和EI檢索論文7篇,其中SCI4篇,國際會議論文3篇,申請發明專利4項,參加境外國際會議2次,境內國際會議2次,並作口頭報告,與國內外專家學者進行了廣泛的學術交流。
