《陣列式共焦顯微測量中空間調製機理與方法研究》是依託哈爾濱工業大學，由黃向東擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：陣列式共焦顯微測量中空間調製機理與方法研究
- 依託單位：哈爾濱工業大學
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：黃向東
項目摘要,
項目摘要
為提高陣列式共焦系統三維分辨力，抑制固有的耦合疊加效應和平移效應，提出了一種具有高密集度、高分辨力和高噪聲抑制能力的陣列式共焦顯微感測方法。研究內容：1、通過建立陣列共焦顯微三維相干成像模型，以揭示離軸照明下衍射光場成像機理，通過調製點光源陣列光場分布特性，提高系統三維空間探測能力；2、基於閃耀光柵閃耀特性，利用空間光調製器實現準直光束偏轉，在較大的陣列間距下以實現高效率掃描探測，並抑制相鄰光路之間的耦合效應；3、通過將光學超分辨方法與軟針孔光闌技術相結合，從系統角度最佳化光瞳濾波器與軟針孔結構參數，進一步提高系統分辨能力；4、主要技術指標：一次掃描400 個點，軸向、橫向分辨力分別為20nm，0.2um。該項目的完成，解決了並行共焦系統中存在的高密集測量、寬視場與三維分辨力之間的矛盾；為共焦系統的陣列化、數位化提供一種全新而有效的技術途徑，並拓展其套用領域。
