陝西省微/納米系統重點實驗室

陝西省微/納米系統重點實驗室現有固定人員28名，其中研究人員20人，工程技術及管理人員8人，具有教授/副教授等高級職稱者18人。

基本介紹

• 中文名：陝西省微/納米系統重點實驗室
• 主要榮譽：獲得國家教學成果一等獎1項、省部級一等獎2項、二等獎2項
• 固定人員：28名
• 實驗室面積：3200平米

研究方向

陝西省微/納米系統重點實驗室現有設備76台（套），設備資產3700萬元，實驗室面積3200平米（其中淨化室面積1050平米），形成了一條四英寸微加工工藝線，能夠實現矽表面加工、濕法體矽加工、ICP深刻蝕、聚合物基微加工等多種典型工藝，是國內少有的面向全國開放的微納製造和研發平台之一。

科研成就

陝西省微/納米系統重點實驗室獲得國家重大科學儀器設備開發專項1項，國家重大儀器設備開發專項子課題1項，國防基礎科研重點研究計畫1項，國防科工局以及中組部青年拔尖人才支持項目1項，973課題2項，國家863項目2項，裝備發展部研究項目4項，軍委科技委創新項目4項，及國家自然科學基金面上項目8項。獲得國家教學成果一等獎1項、省部級一等獎2項、二等獎2項。實驗室共申請國家發明專利180項，授權120項，授權發明專利70項。