喬大勇(陝西省微/納米系統重點實驗室副主任)

喬大勇，男，1977年生，山東青島人，工學博士，教授，博士生導師，現任空天微納教育部重點實驗室暨陝西省微/納米系統重點實驗室副主任，入選教育部2009年新世紀優秀人才。於2007年獲得工學博士學位，2008年破格提升為副教授，2011年破格提升為教授。

基本介紹

• 中文名：喬大勇
• 國籍：中國
• 出生日期：1977年生
• 性別：男

研究成果

主要研究微機電系統集成設計技術、微/納製造技術、微型光學器件和微型能源器件。先後主持和承擔國家863計畫，國家自然科學基金，總裝武器裝備創新重點基金項目，高等學校科技創新工程重大項目培育資金項目和西安套用材料創新基金項目等科研項目十餘項，研製出分立式微變形鏡、微型可程式光柵和微型核電池等新型微器件。近三年來在國內外重要學術刊物上共發表研究論文80餘篇，被SCI、EI收錄40多篇，獲得已授權發明專利8項，獲得國際技術發明二等獎1項，省部級獎3項。

研究領域

1）微光學器件及其套用技術

光學執行器的靜電力驅動，SOI製備，溝道隔離和諧振驅動與控制等技術。研製出能夠實現李薩如雷射投影顯示的靜電力驅動的一維和二維諧振式微轉鏡，可廣泛套用與攜帶型光學投影，醫學OCT，雷射避障等領域；

2）微型能源技術

常規電池難以對微/納系統連續供能，需要不定期更換或充電。傳統核電池擁有能量大和壽命長的優點，但其溫差熱堆轉換原理使其無法將體積縮小到MEMS所需要的尺度。課題組利用放射粒子在半導體裝置中的輻射-伏特效應，直接將衰變能轉化為電能，其特徵尺寸在亞毫米量級，能夠產生幾十微瓦到數毫瓦的功率，可作為MEMS系統的片上能源。

3）先進微納製造技術

主要研究薄膜殘餘應力測量與控制，RIE Lag與RIE草地現象，微結構工藝/工作防黏附和物理/化學減薄拋光等技術。先後開發出SOI溝道隔離工藝，SOI-玻璃鍵合工藝和低應力表面犧牲層工藝，已經成功為數十家企業、高校和研究機構的微器件研製工作提供工藝支持。

在研項目

1、MEMS真空封裝內部放氣失效機理與加速壽命模型研究，國家自然科學基金，80萬

2、基於微鏡李薩如掃描的投影顯示方法與技術研究，深圳市戰略性新興產業發展專項資金項目，100萬

著作

[1] 苑偉政，喬大勇，微納製造的基礎研究學術著作叢書：微機電系統（MEMS）製造技術，科學出版社，40萬字，2014

[2] 苑偉政，喬大勇，普通高等教育“十一五”國家級規劃教材：《微機電系統》，西北工業大學出版社，32萬字，2011

發表論文

[1]Qiao Da-yong, Kang Bao-peng, Liu Yao-bo, A resonance scanning grating based on SOI for microspectrometer application, LASER PHYSICS, 2013, 23(3): 035601, SCI: 000318005700022 IF: 3.605

[2]Da-Yong Qiao, Xiao-Pei Zheng, Determination of residual stress in deep submicron thick films by the critical buckling technique of annular thin plates. Microsystem Technologies. 2012, 18(3): 277-282. SCI: 000300589500005, EI: 20122215074629 影響因子：1.069

[3]喬大勇，鄭曉沛，測量深亞微米薄膜內微小殘餘應力的測試圓環結構，功能材料，2012，43（10）：1263-1267, EI: 20122915259852

[4]Da-Yong Qiao, Xue-Jiao Chen, Yong Ren and Wei-Zheng Yuan, A nuclear micro battery based on SiC Schottky barrier diode, Journal of MEMS, 2011, 20 (3):685-690. DOI: 10.1109/JMEMS.2011.2127448. UT ISI:000291316000018 EI: 20112314042561 影響因子：2.157 被引頻次：7

[5]喬大勇, 陳雪嬌, 任勇, 藏博, 苑偉政, 一種基於PIN結的矽基微型核電池研究, 物理學報, 2011,60(2):020701 UT ISI: 000287947000023. 影響因子：1.259被引頻次 3

[6]Da-Yong Qiao, Song-Jie Wang and Wei-Zheng Yuan, A continuous-membrane micro deformable mirror based on anodic bonding of SOI to glass wafer, Microsystem Technologies, 2010, 16(10): 1765-1769, 影響因子：1.069UT ISI:000281734000013 EI: 20104613382556影響因子：1.069被引頻次：1

[7]喬大勇, 苑偉政, 田力, 基於絕緣體上矽的連續薄膜式微變形鏡工藝, 中國雷射, 36,2009：78-82. EI: 20100912741047

[8]QIAO Da-Yong, YUAN Wei-Zheng, GAO Peng, YAO Xian-Wang, ZANG Bo, ZHANG Lin, GUO Hui, ZHANG Hong-Jian, Demonstration of a 4H SiC Betavoltaic Nuclear Battery Based on Schottky Barrier Diode, CHIN PHYS LETT, 2008, 25(10): 3798-3800. UT ISI:000259736600076 影響因子: 1.077被引頻次11

[9]Da-Yong Qiao, Wei-Zheng Yuan, Yi-Ting Yu, Qing Liang, Zhi-Bo Ma, Xiao-Ying Li, The residual stress induced buckling of annular thin plates and its application in residual stress measurement of thin films, Sensors & Actuators: A, 2008, 143(2): 409-414. DOI (10.1016/j.sna.2007.11.028), (UT ISI:000255453400030 EI: 081411185264 2011年SCI影響因子: 1.933). 被引頻次1

[10]Qiao Dayong, Yuan Weizheng, Li Xiaoying, A Two-Beam Method for Extending the Working Range of Electrostatic Parallel-Plate Micro Actuators, Journal of Electrostatics, 2007, 65(4) pp 256-263 (UT ISI:000245603400009 EI: 070310367663 2007年SCI影響因子: 1.078) 被引頻次9

專利

[1] 喬大勇，苑偉政，田力，李曉瑩，燕斌，基於SOI的連續薄膜式微變形鏡及其製備方法，授權日：2011年7月20日，中國，ZL200810236477.4

[2] 喬大勇，孫瑞康，靳倩，李曉瑩，燕彬，一種基於SOI晶圓雙掩膜刻蝕的垂直梳齒驅動微扭轉鏡及其製作方法，授權日：2011年11月16日，中國，ZL201010217116.2

[3] 喬大勇，苑偉政，藏博，姚賢旺，呂湘連，具有保護環結構的微型核電池及其製作方法，授權日：2011年10月05日，中國，ZL200910023134.4

[4] 喬大勇，苑偉政，藏博，姚賢旺，呂湘連，具有保護環結構的肖特基結核電池及其製作方法，授權日：2011年11月02日，中國，ZL200910023133.X

[5] 喬大勇，苑偉政，馬志波，微型縱向驅動器，授權日：2009年11月18日，中國，ZL200610041616.9

獲獎情況

[1] 2011年，微機電系統的泛結構化設計方法與技術，國家技術發明獎，二等獎，排名第四

[2] 2004年，國防科學技術獎，二等獎，排名第三

[3] 2005年，國防科學技術獎，二等獎，排名第五

[4] 2005年，陝西省科學技術獎，三等獎，排名第七

公開發表論文

出版“十一五”國家級規劃教材1部，在國內外重要學術刊物上共發表研究論文80餘篇，被SCI、EI收錄50餘篇，獲得已授權發明專利20項。

[1]普通高等教育“十一五”國家級規劃教材：《微機電系統》，西北工業大學出版社，2011年，第二作者，本人編著20萬字

[4] 喬大勇,陳雪嬌,任勇,藏博,苑偉政,一種基於PIN結的矽基微型核電池研究,物理學報, 2011,60(2):020701,影響因子：1.165

獲獎情況

現任“空天微納系統教育部重點實驗室”暨“陝西省微/納米系統重點實驗室”副主任，“機械電子工程”國家重點學科和“航空航天微納器件與系統技術”教育部長江學者創新團隊骨幹成員，入選教育部2009年“新世紀優秀人才”。獲得國家技術發明二等獎1項，國防科學技術獎2項，省級科學技術獎1項。