馬志波，西北工業大學機電學院工程師。主要研究方向及內容：主要從事微/納製造工藝，微納複合製造以及納米圖形化方法研究，微光學和微壓力感測器製造工藝研究等。
基本介紹
- 中文名：馬志波
- 出生日期：1978年2月
- 性別：男
- 學歷：碩士、在職博士
論文作品,專利產品,
論文作品
1) Zhibo Ma, Chengyu Jiang, Weizheng Yuan. A triple-layer protection process for high-aspect-ratio silicon micronachining by DRIE OF SOI substrates. J. Micromech. Microeng. 2012, 22 055028 (SCI).
2) Zhibo Ma, Sen Ren, Dayong Qiao, Weizheng Yuan，Fabrication of a Novel Resonant Pressure Sensor Based on SOI Wafer. 2nd Integration & Commercialization of Micro & Nanosystems International Conference & Exhibition. Clear Water Bay, Kowloon, Hong Kong, June 3-5, 2008.
3)馬志波,姜澄宇,任森,苑偉政.基於SOI的矽微諧振式壓力感測器晶片製作. 2012, 25(2), 180-183.
4)馬志波,喬大勇,虞益挺,苑偉政,姜澄宇，一種新型CCD圖像採集系統設計.感測技術學報, 2006, 19(4): 1250-1252.
5)馬志波,喬大勇,苑偉政,姜澄宇，MEMS微結構粘附問題研究.航空精密製造技術. 2006, 42(6): 9-11.
專利產品
1)高占空比自支撐納米透射光柵及其製作方法馬志波，姜澄宇，苑偉政。
2)一種納米結構的圖形轉移製作方法馬志波，姜澄宇，苑偉政。
3)一種高懸浮空間MEMS可動器件的製作方法。苑偉政，馬志波，喬大勇，任森，呂湘連。
4)微型縱向驅動器苑偉政，喬大勇，馬志波，呂湘連。
5)一種微型平板靜電驅動器及其製作方法苑偉政，喬大勇，虞益挺，馬志波。
