鈦靶

純度是靶材的主要性能指標之一，因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。

表面工程用靶材（裝飾工具）多弧靶

品 名	純度	密度	鍍膜優勢色	形狀	常規尺寸	套用行業
鈦鋁（TiAl）合金靶	2N8-4N	3.6-4.2	玫瑰金/咖啡色	圓柱形	直 徑; 60/65/95/100*30/32/40/45mm	裝; 飾; /; 工; 具
純鉻（Cr）靶	2N7-4N	7.19	白色/黑色	圓柱形
純鈦（Ti）靶）	2N8-4N	4.51	金黃色/槍黑色; 藍色/玫瑰紅	圓柱形
純鋯（Zr）靶	2N5-4N	6.5	金色	圓柱形
純鋁（Al））靶	4N-5N	2.7	銀色	圓柱形
純鎳（Ni）靶	3N-4N	8.9	金屬本色	圓柱形
鎳釩（Ni）靶	3N	8.57	藍綠色	圓柱形
純鈮（Nb）靶	3N	8.57	白色	圓柱形
純鉭（Ta）靶	3N5	16.4	黑色/紫色	圓柱形
純鉬（Mo）靶	3N5	10.2	黑色	圓柱形

靶材的主要性能要求

靶材的主要性能要求:

純度

純度是靶材的主要性能指標之一，因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際套用中，對靶材的純度要求也不盡相同。例如，隨著微電子行業的迅速發展，矽片尺寸由6”, 8“發展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求，而製備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

雜質含量

靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。例如，半導體工業用的純鋁及鋁合金靶材，對鹼金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

為了減少靶材固體中的氣孔，提高濺射薄膜的性能，通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率，還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材為多晶結構，晶粒大小可由微米到毫米量級。對於同一種靶材，晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快；而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。