金屬真空濺射機是一種用於材料科學領域的科學儀器，於2012年1月2日啟用。
基本介紹
- 中文名：金屬真空濺射機
- 產地：日本
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2012年1月2日
技術指標,主要功能,
技術指標
IGZO 成膜均勻性 ＜10%。
主要功能
金屬膜成膜。
金屬真空濺射機
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