金屬玻璃掩模mclal on glass mask以不透光金屬薄膜選擇地覆蓋在坂璃基片上構成的光學掩模版:
金屬玻璃掩模mclal on glass mask以不透光金屬薄膜選擇地覆蓋在坂璃基片上構成的光學掩模版: ...
(1)上平行板:裝載濺鍍金屬的靶材;下平行板:作為濺鍍對象的玻璃基板。...2) 使用無掩模光刻機讀取版圖檔案,對帶膠的空白掩膜版進行非接觸式曝光(曝光...
在半導體晶體表面的介質層上開鑿各種摻雜視窗、電極接觸孔或在導電層上刻蝕金屬...這些掩模材料的襯底基片,都採用精選的高平整度製版玻璃。對於玻璃的缺陷密度、...
rontart mask在半導體製造中的一步接觸孔製作工序。在該工序中整個管芯表面放置一玻璃絕緣層在稍後十晶片表面澱積一金屬化層疇的互連金屬導體必須同有源區相接觸的...