《金屬有機先驅物合成鈦酸鍶系介質薄膜》是依託上海大學，由孟中岩擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：金屬有機先驅物合成鈦酸鍶系介質薄膜
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：孟中岩
- 依託單位：上海大學
- 支持經費：9.5（萬元）
- 研究期限：1996-01-01 至 1998-12-31
- 負責人職稱：教授
- 申請代碼：E0208
- 批准號：59572038
中文摘要
從金屬有機先驅物研製出SrTiO3、BaTio3、 BaxSr1-x、TiO3溶膠與薄膜，用DTA/TG、FTIR、SEM、XRD、AFM、UPA-β背散射等手段考察sol-gel與薄膜與生長演化機制、相結構演化、形貌、界面擴散和與反應機制膜組成均勻性、用磁控RF濺射解決MIM結構的電極，研製成Au/BST/Pt/Ti/SiO2/Si（100）多層結構，其電性能為ε＞400，ranδ＜0.05,Il＜10（-7）Acm（2）,EB＞0.2MV/cm,Q-33fC/um（2）實驗發現：Sr、Ba在sol-gel過程的絡合與縮聚反應機制差別，C-V特性電容調諧度＞30%，可望用於MIC調諧器;Ba0.7-Sr0.3TiO3膜在15-150℃溫區均呈鐵電性，未了同現塊狀BST在25℃附近Fr-Pc的相變，但鐵電性減弱，同時ε溫譜居里峰平緩，居里溫區擴大，相變高度擴散，提出“超擴散相變”，完成預期內容，薄膜質量達到預定指標，發表論文8篇，結果與國際同類作工作水平相當，得到國際認同。
