《金剛石薄膜場致發光器件的研製》是依託吉林大學，由高春曉擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：金剛石薄膜場致發光器件的研製
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：高春曉
- 依託單位：吉林大學
- 批准號：69207003
- 研究期限：1993-01-01 至 1995-12-31
- 申請代碼：F0502
- 支持經費：5（萬元）
- 負責人職稱：教授
項目摘要
本項目以金剛石薄膜為對象，研究其發光特性與實驗合成條件的關係，製備金剛石薄膜場致發光器件。研究結果表明：金剛石薄膜的發光特性主要受制於合成氣氛中的雜質成份，其發光強度取決於薄膜中的雜質含量；高濃度硼摻雜的金剛石薄膜的發光強茺要明顯高於未摻雜的金剛石薄膜。發光器件採用了雙絕緣層式結構。絕緣層採用的是類金剛石薄膜，其優點是絕緣強度好、金剛石的成核密度高。上下電極分別採用了單晶矽和摻錫的氧化銦透明導電薄膜。由於採用類金剛石薄膜作下電極，既提高了發光片的表面光潔度、簡化了器件製備工藝，也解決了金剛石在光滑氮晶矽表面的高密度成核問題。器件的光譜中心位於5100埃，對應藍綠光發射，壽命大於八小時。
