重慶微光機電工程技術研究中心

重慶微光機電工程技術研究中心依託於重慶大學，主要合作單位有中國電子科技集團公司第二十四研究所等。中心主要從事MEMS設計、研發及加工關鍵技術研究、產業化轉化和人才培養。

中心承擔和完成了國家“863”MEMS重大專項、國家“973”“微光機電系統”、總裝備部“微米/納米專項”、國家自然科學基金委“重大項目”、國家“科技攻關”和重慶市“科技攻關”等國家和省部級項目40餘項，經費近3500萬元；和德國政府科教部已簽訂達1250萬歐元的合作研究項目。研製出的“微型光譜分析系統”、“微型生化光譜分析儀器”達到國際先進水平，現在正在產業化研究開發和試生產。“基於MEMS的人體腔道診療系統”樣機已完成動物實驗，進入臨床實驗階段。申請專利近40項，發表論文200餘篇；已形成具有自身特色的研究方向、在國內外具有重要影響的微光機電系統技術研究和產業化的工程中心。

基本介紹

• 中文名：重慶微光機電工程技術研究中心
• 依託：重慶大學
• 研究方向：MEMS設計、研發及加工關鍵技術
• 申請專利：40項

中心簡介

重慶微光機電工程技術研究中心依託於重慶大學，主要合作單位有中國電子科技集團公司第二十四研究所等。中心主要從事MEMS設計、研發及加工關鍵技術研究、產業化轉化和人才培養。

研究成果

中心承擔和完成了國家“863”MEMS重大專項、國家“973”“微光機電系統”、總裝備部“微米/納米專項”、國家自然科學基金委“重大項目”、國家“科技攻關”和重慶市“科技攻關”等國家和省部級項目40餘項，經費近3500萬元；和德國政府科教部已簽訂達1250萬歐元的合作研究項目。研製出的“微型光譜分析系統”、“微型生化光譜分析儀器”達到國際先進水平，現在正在產業化研究開發和試生產。“基於MEMS的人體腔道診療系統”樣機已完成動物實驗，進入臨床實驗階段。申請專利近40項，發表論文200餘篇；已形成具有自身特色的研究方向、在國內外具有重要影響的微光機電系統技術研究和產業化的工程中心。

先進技術

中心建立了面向西南地區的“MEMS器件及系統設計開發聯合開放實驗室，擁有國際先進的MEMS和CMOS電路設計及模擬軟體，MEMS感測器及微型分析儀器的組裝和測試設備。中心以中國電子科技集團公司第二十四研究為核心的中心加工平台已成為國內IC和MEMS器件集成的加工的重要平台，現有一條 4英寸2μm CMOS生產線，一條6英寸0.8μm BiCMOS生產線正在試運行中。

對外服務能力

MEMS感測器的器件模擬仿真

MEMS感測器的系統級模擬仿真

MEMS加工工藝仿真

MEMS器件和系統的加工

MEMS器件和系統的檢測

MEMS技術諮詢

MEMS技術研發與管理的高層次人才的培養