邢廷文

邢廷文，男，中國科學院大學專職教師。

基本介紹

• 中文名：邢廷文
• 畢業院校：中國科學院光電技術研究所
• 學位/學歷：碩士
• 職業：教師

人物經歷

教育背景

1995-06--1996-09 大學 日本進修

1985-09--1988-06 中國科學院光電技術研究所 碩士

1981-09--1985-06 華中科技大學 學士

工作經歷

1999-10~現在, 中國科學院光電技術研究所, 室主任

1996-10~1999-09,日本非球面公司, 工程師

1988-07~1995-05,中國科學院光電技術研究所, 副研究員

科研成果

專利成果

（ 1 ） 一種精密夾具, 發明, 2014, 第 2 作者, 專利號: 201210103829.5

（ 2 ） 一種光學系統氣壓分段補償像差的劃分方法, 發明, 2014, 第 2 作者, 專利號: 201410499948

（ 3 ） 一種光學變形鏡系統, 發明, 2015, 第 2 作者, 專利號: 201510059382

（ 4 ） 一種移動平台, 發明, 2014, 第 3 作者, 專利號: 201210133515.X

（ 5 ） 一種光束偏振度測量裝置和方法 , 發明, 2014, 第 3 作者, 專利號: 201410503691.7

（ 6 ） 一種利用小孔衍射波進行待測件定位的裝置及方法, 發明, 2015, 第 3 作者, 專利號: 201510189200.0

（ 7 ） 一種高解析度投影光學系統, 發明, 2014, 第 2 作者, 專利號: 201210132632.4

（ 8 ） 一種非球面光刻耦合物鏡 , 發明, 2015, 第 2 作者, 專利號: 201310178870.3

（ 9 ） 一種投影物鏡數值孔徑測量裝置及方法 , 發明, 2015, 第 2 作者, 專利號: 201310390028.6

（ 10 ） 一種大數值孔徑的折反射的乾式投影光學系統, 發明, 2014, 第 2 作者, 專利號: 201410024170.3

（ 11 ） 一種雷射準直擴束系統, 發明, 2014, 第 2 作者, 專利號: 201410019186.5

（ 12 ） 一種偏振純化裝置, 發明, 2014, 第 2 作者, 專利號: 201410289361.2

（ 13 ） 一種投影光學系統 , 發明, 2015, 第 2 作者, 專利號: 201210360715.9

發表論文

（1） 國外高變焦比中波紅外鏡頭的研究進展, 紅外與雷射工程, 2015, 第 2 作者

（2） 國外紅外光譜連續變焦成像系統的研究進展, 光譜學與光譜分析, 2014, 第 2 作者

（3） 鋁鏡消應力支撐及SPDT輔助裝配設計, 光電工程, 2014, 第 2 作者

（4） 薄型折反系統布局及金屬主鏡安裝影響分析, 紅外與雷射工程, 2014, 第 2 作者

（5） 微反射鏡陣列在光束整形中的套用, 紅外與雷射工程, 2014, 第 2 作者

（6） 小型一體式次鏡支架結構最佳化設計, 紅外與雷射工程, 2014, 第 2 作者

（7） 具有變視場性能的中紅外光譜系統設計與研究, 光譜學與光譜分析, 2014, 第 2 作者

（8） 長焦距高解析度紅外兩檔變焦光學系統設計, 紅外與雷射工程, 2014, 第 2 作者

（9） Two-dimension lateral shearing interferometry for microscope objective wavefront metrology, SPIE, 2014, 第 2 作者

（10） Design of twin computer-generated hologram for absolute testing of aspheric surfaces, SPIE, 2014, 第 3 作者

（11） The impact of polarization on grating performance of the lateral shearing interferometer, SPIE, 2014, 第 3 作者

（12） Aberration functions expanding in Zernike polynomial for lithographic lens, SPIE , 2014, 第 3 作者

（13） Source optimization using simulated annealing algorithm, SPIE , 2014, 第 2 作者

（14） Dynamic compensation for the lithographic object lens, SPIE, 2014, 第 2 作者

發表著作

（1） 光學投影曝光微納加工技術, 無, 北京工業大學出版社, 2006-12, 第 3 作者