中文名稱 | 選擇性外延生長 |
英文名稱 | selective epitaxy growth |
定 義 | 在襯底上限定的區域內進行的外延生長。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),半導體材料製備(三級學科) |
中文名稱 | 選擇性外延生長 |
英文名稱 | selective epitaxy growth |
定 義 | 在襯底上限定的區域內進行的外延生長。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),半導體材料製備(三級學科) |
中文名稱 選擇性外延生長 英文名稱 selective epitaxy growth 定義 在襯底上限定的區域內進行的外延生長。 套用學科 材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科...
1.矽襯體外延:矽片製造中為了提高矽片的品質通常在矽片上外延一層純淨度更高的本徵矽,或者在高攙雜矽襯底上生長外延層以防止器件的閂鎖(latch up)效應。...
單晶矽晶圓生長, 以及矽外延技術; 第5章討論了半導體工藝中的加熱過程;第6章詳細介紹了光學光刻工藝;第7章討論了半導體製造過程中使用的電漿理論; 第8章討論...
研究領域:III族氮化物半導體薄膜與低維結構的原子層外延生長,新型氮化鎵/二維體系...另外,在圖形矽襯底上進行過碳納米管的定向和選擇性化學氣相沉積生長以及非占據...
陸敏,畢業於南京大學物理系,主要研究和開發熱釋光固體探測器,現任中國科學院副研究員 。他研究了藍寶石襯底上獲得低缺陷GaN材料的外延生長,並提出了多種有效的...
《氮化物寬禁帶半導體材料與電子器件》內容包括:氮化物材料的基本性質、異質外延方法和機理,HEMT材料的電學性質,AlCaN/GaN和InAlN/GaN異質結的生長和最佳化、材料缺陷...