裝有滑片的偏置轉子在泵腔內作迴轉運動﹐使由滑片分隔的泵腔工作室容積周期性變化以實現抽氣的真空泵﹐又稱滑片真空泵。圖 旋片真空泵的工作原理 為旋片真空泵的工作原理。它主要由泵體(靜子)和轉子組成。在轉子槽中裝有兩塊以上的滑片﹐有些泵滑片間還裝有彈簧。轉子偏心地裝在泵腔內﹐其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2～3微米。轉子旋轉時﹐在離心力等作用下﹐滑片沿槽作往復滑動並與泵腔內壁始終保持接觸﹐將泵腔分成兩個或幾個可變容積的工作室。轉子順時針方向旋轉時﹐與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大﹐腔內氣體壓力降低﹐被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入(圖中a 旋片真空泵的工作原理 )。同時﹐與排氣口相通的排氣腔容積由大變小﹐吸入腔內的氣體被壓縮﹐待氣體壓力高於大氣壓力時﹐推開排氣閥排出大氣(圖中b 旋片真空泵的工作原理 )。轉子連續轉動﹐泵便不斷抽氣。 排氣閥浸在油里﹐油通過排氣閥和油孔進入泵腔﹐使泵腔內所有運動件的表面覆蓋一層油膜﹐密封住吸氣腔與排氣腔間的間隙﹐防止氣體返流。這些油還能減少排氣腔內的有害空間﹐以消除它們對極限壓力的影響。因此這種真空泵是一種油封式機械真空泵。隨著技術的發展﹑製造工藝的完善和優質材料的選用﹐小型滑片真空泵的轉軸可與電動機軸直聯﹐轉速可高達1450轉/分﹐大大提高了泵的抽氣速率和減輕了泵的重量。
滑片真空泵的抽速範圍為0.5～150升/秒(1升=10-3米3)﹐工作壓力範圍一般為1×105～1帕﹐較大抽速的壓力範圍為1×105～13帕。極限壓力﹕單級泵為1帕﹐雙級泵為6.5×10-2帕。旋片真空泵一般只適於抽除乾燥或含有少量可凝性蒸汽的氣體(對於後者須裝氣鎮閥)﹐不適於抽除含氧過高﹑爆炸性﹑腐蝕性﹑對泵油起化學作用和含有固體顆粒的氣體。在真空系統中﹐這種泵可單獨使用﹐或作為增壓泵﹑擴散泵等的前級泵。
滑片真空泵的抽速範圍為0.5～150升/秒(1升=10-3米3)﹐工作壓力範圍一般為1×105～1帕﹐較大抽速的壓力範圍為1×105～13帕。極限壓力﹕單級泵為1帕﹐雙級泵為6.5×10-2帕。旋片真空泵一般只適於抽除乾燥或含有少量可凝性蒸汽的氣體(對於後者須裝氣鎮閥)﹐不適於抽除含氧過高﹑爆炸性﹑腐蝕性﹑對泵油起化學作用和含有固體顆粒的氣體。在真空系統中﹐這種泵可單獨使用﹐或作為增壓泵﹑擴散泵等的前級泵。
