超高真空PVD沉積薄膜設備

超高真空PVD沉積薄膜設備是一種用於材料科學、物理學領域的工藝試驗儀器，於2012年4月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高真空PVD沉積薄膜設備
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學、物理學
• 啟用日期：2012年4月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

超高真空蒸發鍍膜專用。

主要功能

用於真空閥製備高質量CIGS薄膜。