超真空薄膜蒸發系統

超真空薄膜蒸發系統是一種用於物理學、電子與通信技術領域的分析儀器，於2009年3月25日啟用。

基本介紹

• 中文名：超真空薄膜蒸發系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、電子與通信技術
• 啟用日期：2009年3月25日
• 所屬類別：分析儀器 > 樣品前處理及製備儀器 > 旋轉薄膜蒸發儀

技術指標

Φ550×600,6.6×10^ -8。

主要功能

半導體材料的蒸發。