超潔淨方法

超潔淨方法是製造特別清潔的環境以生產各類高技術產品或進行高技術研究的方法。環境空氣中塵埃的多少是其潔淨程度的標誌，以“級”表示。每一立方英尺空間內含有10萬個0.5微米以上的塵埃稱為10萬級潔淨度。通常工業區的大氣塵埃為千萬級，空氣極端潔淨的田園為百萬級。半導體材料、元件和積體電路的生產，精密機械，例如人造衛星、彩色顯像管、微型軸承、光碟存儲器等，以及生物工程，例如基因重組、傳染病的生物防治、疑難病症的手術與治療等均需在不同程度的潔淨室內進行。

現以積體電路為例加以說明。16K位晶片的製造要求1000級環境，64K位晶片為100級，而256K位晶片則要求10級。由此看，集成化程度越高，對潔淨度的要求越嚴格。控制潔淨室內塵埃的方法，一般採用玻璃纖維製作的高性能空氣濾清器、高能性空調器和純水製造裝置，還需要使用機器磨損產生塵埃的特殊處理技術。此外工作人員的服裝材料及洗滌方法也需特殊選擇。