超淨間

超淨間(Clean Room)，亦稱為無塵室或清淨室。「超淨間」是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。 超淨間最主要之作用在於控制產品（如矽晶片等）所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造，此空間我們稱之為「超淨間」。

基本介紹

• 中文名：超淨間
• 外文名：Clean Room
• 亦稱為：無塵室或清淨室
• 分類：亂流式、層流式

超淨間標準

世界各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。

209E與209D等最大之不同在於209E表示單位增加了公制單位，超淨間等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介於前後二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。

美國聯邦標準FS 209D都以英制每立方英尺為單位，日本則是採用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。

超淨間控管之項目

1. 能除去空氣中飄遊之微塵粒子。

2. 能防止微塵粒子之產生。

3. 溫度和濕度之控制。

4. 壓力之調節。

5. 有害氣體之排除。

6. 結構物與隔間之氣密性。

7. 靜電之防制。

8. 電磁干擾預防。

9. 安全因素之考慮。

10. 節能之考量。

超淨間之分類

亂流式(Turbulent Flow)

空氣由空調箱經風管與超淨間內之空氣過濾器(HEPA)進入超淨間，並由超淨間兩側隔間牆板或高架地板迴風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於超淨間等級1,000-100,000級。

優點：構造簡單、系統建造成本，超淨間之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可並用無塵工作檯，提高超淨間等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出，易污染製程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔淨度，往往須耗時相當長一段時間。

層流式(Laminar)

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，並由高架地板或兩側隔牆板迴風，此型式適用於超淨間等級需定較高之環境使用，一般其超淨間等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊牆壁之迴風系統迴風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

優點：構造簡單，運轉後短時間內即可變成穩定。

缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔淨度，在製程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。

優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。

缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

3.複合式(Mixed Type)：

複合式為將亂流式及層流式予以複合或並用，可提供局部超潔淨之空氣。

(1)潔淨隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。

此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI製程大都採用此種型式。

潔淨隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。

(2)潔淨管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍並淨化處理，將潔淨度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔淨度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

(3)並裝局部超淨間(Clean Spot)：將超淨間等級10,000~100,000之亂流超淨間內之產品製程區的潔淨度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔淨工作檯、潔淨工作棚、潔淨風櫃即屬此類。

潔淨工作檯：等級Class 1~100級。

潔淨工作棚：為在亂流式之超淨間空間內以防靜電之透明塑膠布圍成一小空間，採用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔淨空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱並加裝活動輪，可為彈性運用。

超淨間氣流之流動

超淨間的潔淨度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建築結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。

超淨間系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分乾淨。然而超淨間內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔淨空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。

超淨間內的氣流是左右超淨間性能的重要因素，一般超淨間的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區域，易受人、機器等的動作而干擾趨於混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔淨度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔淨度水準之時，能以最適當的風速供應，以達到適當的風速供應以達到經濟性效果。

另一方面欲達到超淨間潔淨度之穩定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發生渦流作用，此時要實現高潔淨度事實上很困難。

垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風速不可有速度上的差異；(b)地板迴風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般超淨間，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。

影響超淨間的氣流因素很多，如製程設備、人員、超淨間組裝材、照明器具等，同時對於生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。

一般操作台或生產設備等表面的氣流分流點，應設於超淨間空間與隔牆板間距2/3之處，如此可使作業人員工作時，氣流可從製程區內部流向作業區，而將微塵帶走；若分流點配置在製程區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至製程區之後，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備後面，工作檯因而將受到污染，良率也勢必降低。

超淨間內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相對地在其附近之潔淨度將會較差，在工作桌面鑽上迴風孔，將使渦流現象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。

超淨間之構成

超淨間的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的超淨間：

(1)天花板系統：包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

(2)空調系統：包括空氣艙、過濾器系統、風車等。

(3)隔牆板(Partitional wall)：包括窗戶、門。

(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。

(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

超淨間之建築主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：

A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕；

B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；

C.吸濕性小；

D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高；

按用途分類（可分為兩大類）

工業超淨間

以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。 它適用於精密機械工業、電子工業（半導體、積體電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光碟、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬碟、電腦磁頭生產等多行業。

生物超淨間

主要控制有生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為； A、 一般生物超淨間，主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業超淨間。例：製藥工業、醫院（手術室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。

B、 生物學安全超淨間：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌學、生物學、潔淨實驗室、物物工程（重組基因、疫苗製備）

第8樓亂流超淨間的原理和特性

1、定義：亂流超淨間的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動、伴有回流或渦流的超淨間.

2、原理：亂流超淨間靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現潔淨的（亂流超淨間一般設計在千級以上至30萬級淨化級別）。

3、特性：亂流超淨間是靠多次換氣來實現潔淨與潔淨級別。換氣次數決定定義中的淨化級別（換氣次數越多，淨化級別越高）

（1）、自淨時間：是指超淨間按設計換氣次數開始送風到超淨間，室內含塵濃度達到所設計的淨化級別的時間。 1,000級希望不超過20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不超過40min(分鐘) (可取30min計算)

（2）、換氣次數（按上述自淨時間要求設計）1,000級 43.5—55.3次/小時 (規範:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規範:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規範:15次/小時)

超淨間（淨化空調）的結構組成

（1）、組合式淨化空調機組

（2）、潔淨送風管道

（3）、潔淨迴風管道

（4）、送風靜壓箱

（5）、高效過濾器

（6）、多孔擴散板

（7）、超淨間吊頂

（8）、超淨間隔斷

（9）、百葉迴風口

（10）、新風口

污染源知識

發塵量

超淨間內的發塵量，來自設備的可考慮通過局部排風排除，不流入室內；產品，材料等在運送過程中的發塵與人體發塵量相比，一般極小，可忽略；由於金屬半壁（彩鋼夾心板）的套用來自建築表面的發塵也很少，一般占10%以下，發塵主要來自人，占90%左右。在人的發塵量上，由於服裝材料和樣式的改進，發塵絕對量也不斷減少。

A、材質：棉質發塵量最大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。

B、樣式：大掛式發塵量最大，上下分裝型次之，全罩型最少；

C、活動：動作時的發塵量一般達到靜止時間3-7倍；

D、清洗：用溶劑洗滌的發塵量降至用一般水清洗的五分之一。

室內維護結構表面發塵量，以地面為準，大約相應8平方米地面時的表面發塵量與一個靜止的人的發塵量相當。

發菌量

分析國外試驗資料可以認為：

（1） 超淨間內當工作人員穿無菌服時：

靜止時的發菌量一般為10-300個/min.人

軀體一般活動時的發菌量為 150-1000個/min.人

快步行走時的發菌量為 900-2500個/min.人

（2） 咳嗽一次一般為 70~700個/ min.人

噴嚏一次一般為 4000~62000個/ min.人

（3） 穿平常衣服時發菌量 3300~62000個/ min.人

（4） 無口罩發菌量:有口罩發菌量 1:7~1:14

（5） 發菌量：發塵量 1:500~1:1000 據國內事例：

（6） 手術中人員發菌量 878個/ min.人

所以，可知超淨間內無菌衣人員的靜態發菌量一般不超過300個/ min.人，動態發菌量一般不超過1000個/ min/人，以此作為計算依據是可行的。