基本介紹
- 中文名：超淨室
- 外文名：superclean room
- 特色：塵埃粒子極低，無有害氣體
- 類別：工作室，無塵車間
- 適用：精細工作
簡介,條件要求,
簡介
超淨室各項功能的配備均以滿足各項工藝要求為前提,它具備以下特點:
(1) 在潔淨區與非潔淨區隔離口設有“TJ —1”型單人定時冷熱風淋室,它是工作人員進入超淨室的淨化關口。
(2) 在非潔淨區設有更衣室,操作人員更換防靜電潔淨服後才可進入超淨室。
(3) 設有室內對外器件、物品傳遞窗。
(4) 室內面積達24m2 ,其工作潔淨度達1000 級,在局部2m2 的光刻工藝區、淨化工作檯以及淨化塗膠機,工作潔淨度達100 級。
(5) 室內用於顯影及清洗器件的高純水,是由設在室外的潔淨水循環系統引入,該系統以去離子水為原水,經精密過濾、紫外線殺菌及離子交換,極大提高了水質純度,其輸出水質電阻率≥15MΩ。
(6) 在工作人員健康保障方面,超淨室設有空調、淨化排風系統。塗膠台及電鍍腐蝕工作檯設定了獨立的對外排風系統,從而也降低了環境污染。空調系統保障了室內濕度≤60 % ,工作溫度保持18 ℃—25 ℃。室內循環淨化送風系統以及光刻工作區層流罩循環淨化系統為室內潔淨度提供了保障。
條件要求
一、超淨室環境保持
1.工作人員應首先做到保持個人清潔衛生，進入室內不要帶貴重金屬、裝飾品及一切化妝品，所用記錄紙應選用不起塵紙，記錄筆用原子筆。工作人員每人最少準備三套潔淨服，供換洗及備用，潔淨服每周應清洗兩次，並與外衣分別設定存衣櫃。超淨室入口處應設定跨越式鞋櫃及粘鞋墊。設備搬入室內前要用吸塵器或其它清洗方式清理乾淨。每天清掃超淨室，包括地面、牆壁及工作檯面。
由於春季風沙較大，因此，門窗應密閉，最好採用雙層結構。風淋室前後門不得同時開啟，以防非淨化空氣污染淨化工作區。設定循環淨化送風系統是為保持室內潔淨度達到規定等級。進入超淨室前需更換潔淨服及專用拖鞋，經風淋後方可入內。進入室內操作前20-30分鐘，即應打開循環淨化送風系統，下班後應將工件、工具等物品存放妥善後，停止淨化送風系統。淨化系統停止運行後，不應隨便進入室內，以減少對超淨室的污染。
2. 時常維護超淨室環境的設備，使之處於良好工作狀態是保證潔淨度的前提。相應設備包括櫃式空調機、風淋室、使室內潔淨度達1000級的循環淨化送風系統、潔淨度達100 級的光刻區層流罩淨化送風系統及淨化塗膠台和工作檯。循環淨化送風系統為單機送風，使室內保持正壓。送風形式為上送、側下回，經初效、中效、高效三級過濾，設計風量3000m3/h , 風壓410Pa。 風淋室設定於超淨室入口處，用於吹除工作人員身上的浮塵，是進入室內的關口。風淋時，先設定時間，若需加熱，可打開溫控開關。根據需要調節噴口角度以提高風淋效率。
正確操作、調整空調以保持規定濕度和溫度。定期檢查室內、外機組運行及電氣線路連線狀況。所有循環淨化送風系統，當進風口處的過濾器表面發黑時，表明阻力增大，影響淨化效果，應定期用吸塵器清潔，必要時拆下清洗或更換。風淋室噴口風速應每年測(+, 次，低於規定參數值時，則應更換高效過濾器，更換時要注意箭頭標誌及密封處不可滲漏。定期進行風機電氣線路檢修，以保證絕緣及接觸良好。
嚴格按規程操作，工作泵不能無水運行。視水質狀況，一年左右清洗、更換過濾樹脂或精密過濾芯以及紫外線殺菌燈一次。當水箱水位達下限而報警時，應向水箱注入原水。關機時，注意同時關閉有關閥盤，以保持系統密封。專業設備的管理及維護應由專人負責，使設備保持良好的性能，對延長其使用壽命大有益處。另外，應做好設備維護運行記錄。
