超景深三維掃瞄器

超景深三維掃瞄器是一種用於機械工程、材料科學領域的計量儀器，於2008年12月12日啟用。

基本介紹

• 中文名：超景深三維掃瞄器
• 產地：日本
• 學科領域：機械工程、材料科學
• 啟用日期：2008年12月12日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 測量顯微鏡

技術指標

載物台移動量：15mm 3、分解度：0.05μm /脈衝 4、定位精度：6μm 5、重複定位精度：± 0.5 μm。

主要功能

可以對工件的距離、半徑、角度和面積等進行精細測量，可以實現對被測三維結構的觀察。