超微粒乾版

超微粒乾版詳解

起微粒乾版積體電路中光刻製版用的感光版的一種。此外還有羅甸乾版、快速明膠乾版、快速超徵粒乾版等。由底板（片）和感光膜組成。底板採用性能穩定、透光率高的玻璃或塑膠薄膜。感光膜由硝酸銀、鹵化物和介質（明膠）三種材料為主配成乳膠液，再加入螺吡喃金醇（增感劑）、三氮吲哚唎嗪（穩定劑0、明礬（堅膜用）等構成。國產的這類乾版主要性能為感光度略低於日本千版，反差係數大於7，灰霧密度小於0.005，最大密度大於4，解相力縮微照相法大於50，雷射干涉法大於等於3000，清晰度與日本乾版同，潛影穩定性好，堅膜性較強，乳膠片與載體結合較牢固，乳劑層厚度4~6μm，版面針孔度小以及版面平整度（10X10cm）好等。製造工藝主要包括：採用雙注法的有：乳劑製備、玻璃清洗、塗防光暈層、底層與乳劑層的塗布、乾燥、包裝整理和檢驗測定等。主要用用於積體電路生產中光刻製版。

超微粒乾板製作工藝流程

（1）清洗玻璃

將嚴格檢驗的玻璃放入洗液缸中浸泡24小時以上。取出後用碳酸鈣或洗潔淨擦洗玻璃兩面，分別用水洗。然後把玻璃裝在插架上，放在烘箱中烘乾備用。

（2）溶膠

在300~500ml的大燒杯中，稱取8g明膠（特級），倒入80~100ml水，將其放在恆溫水浴鍋中，控制溶液溫度為37°C，加加以攪拌，使膠質均勻。

（3）乳化

乳化又稱鹵化是整個超微粒乾版製備中最關鍵工序。乳化常用雙注入法。所謂雙注入法是將盛有硝酸銀溶液和溴化鉀溶液的兩支滴管，插人明膠溶液中，同時打開滴管的活塞，使兩種溶液以每秒鐘兩滴的速度滴入。

（4）塗布

從烘箱中取出溫熱的玻璃，置於一個平台上（水平面嚴格平整），用乾淨的小玻璃棒把溶膠塗布在玻璃上（）一般12ml的乳膠可塗布220×200mm的玻璃）。塗布時一定得按順時針或逆時針方向，千萬不能亂塗，塗布時要使乳膠流勻，以達到平整均勻的目的。

（5）冷凍

塗布以後，立刻把玻璃板放在冰櫃中（4~8°C），其有兩個目的：一是仰制溴化銀顆粒繼續長大，達到超微粒細顆粒的目的；二是是冷凍成膠，使於切條、水洗以去除硝酸鉀。

冷凍溫度一定要控制好，如果溫度過低，乳膠表面會結霜、發皺；如果溫度過高，又達不到冷凍的目的。冷海凍時間不宜過長，否則藥膜面會出現細小網紋。一般掌膠液不流動、不粘手就可以。冷凍田時玻璃一定要平放，否則乳膠的流動而造成膜面的厚度不均勻。

（6）水洗

經過冷凍之後，析出了硝酸鉀結晶如留在乳劑層中，會影響版子的透明度和反差，必須去除。水洗是將版子插入支版架上，然後在冷水（5~10PC）內拍打，以便去除硝酸鉀結晶。

（7）抽乾

將乾版放入真空烘箱內烘乾，約4小時後，再在50~60°C下保溫2小時，然後包裝。

超微粒乾版

基本介紹