超大規模積體電路製造工藝的計算機輔助設計

超大規模積體電路製造工藝的計算機輔助設計

《超大規模積體電路製造工藝的計算機輔助設計》是1986年科學出版社出版的圖書,作者是普盧默。

基本介紹

  • 中文名:超大規模積體電路製造工藝的計算機輔助設計
  • 作者:(美)普盧默(Plummer, J.D.)
  • 出版時間:1986年03月
  • 出版社科學出版社
  • 國際標準書號:15031704  
內容簡介,圖書目錄,

內容簡介

本書比較全面地介紹了超大規模集成地少電路製造閥永妹工藝的計算機輔助設計。內容包括:氧化挨循道、擴散、離子注入、化學汽相澱積、界面雜質分凝等模型及其模擬程式的執行過程。書中論述了現有的理論公式、經驗公式或因數據有限未能建立經驗公式等三類物理化學問題束和海在計算機上實現模擬的方法。
本書可供集成電汗匙慨灶路設計與研製以及使用計算機從事物理化全朽迎墊學研究的人員參考,也可作有關專業的研究生、高年級大學生的教學參考書。

圖書目錄

譯者的話
序言
一、SUPREM程式現狀
二、章姜戲去年主要成果
詳細技術報告
附錄 最新成果

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