質量擴散柱Dlas5diffusion column圖示伯涅狄克( #3enedi}t)設計的質量擴散往。柱由四個同中心線的環形室組成。帶有許多小孔的中心管是第一室，多孔屏分隔了第二室與第三室，最外層第四室是冷卻水套。分離煤質的蒸氣經中心管通過小孔徑向射流出，穿過第二室和第三室而在第三室外測冷卻壁上被冷凝。分離媒質的氣流將被分離的同位素混合物推向外側，當它們向中心擴散時，較輕組分更易擴散到中心部位，聽以第三室中輕組分得到濃縮，第二室中重組分得到濃縮。在白下而上和自 「而下環流的作用下使徑向濃縮得到倍增。從第二室一端取出輕餾分，從第三室另一端取出重餾分。通常選用分子量大的易於蒸發和冷凝並能與被分離的同位素混合物分開的化合物作分離媒質。伯涅狄克曾探討分離鈾的可能性，六氟化鈾作下作介質，N '} C.'sFy ) 3 ( }'VI = fi71)作分離媒質，理論分離係數為1.O(1}R，小於氣體擴散法，又由於產量很小，故不宜用來分離鉑。但可用來進行中等質量數元素的同位素分離。
