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- 解決暗場成像技術延伸晶圓檢測
大多數暗場檢測系統的核心是聲光偏轉器（AOD）。當高頻信號作用於它時，AOD展現某些特性，它可折射出雷射束。如果此雷射束折射地很快，結果就相當於在晶圓上畫一雷射掃描線。正是這條線可確定每次通過晶圓的檢測高度，這和產量直接...
- 暗場檢測
暗場檢測是用來檢測晶圓表面缺陷的一種方法，暗場檢測主要由入射光源和探測器組成。 在檢測時，一束雷射從側上方照射在晶圓表面，在缺陷處產生散射光被一個探測器收集，並轉換成電信號。晶圓在樣品台上旋轉，樣品台沿徑向平移。這樣雷射束...
- 解決暗場成像技術延伸晶圓檢測
其新的Puma9000平台採用了專利結構，可在晶圓上形成一條長線並進行檢測，同時，經過多個集光通道可產生雙暗場平面。KLA-Tencor設計了一種新的線性感測器和結構，稱之為“Streak”技術，它可使傳統的暗場極限分別得到解決，能提供＞500M...
