《表面去污技術及套用》是化學工業出版社於2022年出版的書籍，作者是（美）雷吉維·科里（Rajiv Kohli）、（美）卡什米里·拉爾·米塔爾（K.L.Mittal）
基本介紹
- 中文名：表面去污技術及套用
- 作者：（美）雷吉維·科里（Rajiv Kohli）、（美）卡什米里·拉爾·米塔爾（K.L.Mittal）
- 出版社：化學工業出版社
- 出版時間：2022年9月1日
- 頁數：573 頁
- 開本：16 開
- 裝幀：精
- ISBN：9787122419088
作者簡介,目錄,
作者簡介
雷吉維•科里（Rajiv Kohli）教授是美國國家航空航天局詹森航天中心航空航天公司在污染物顆粒行為、表面去污和污染物控制領域的首席專家，卡什米里•拉爾•米塔爾（Kash Mittal）博士在表面去污和黏附科學與技術領域具有豐富的經驗。
目錄
第1章 聲波技術的基本原理和套用 001
1.1 引言 002
1.2 聲波清洗的基本原理 002
1.2.1 超聲處理的基礎知識及其在顆粒清除中的作用 003
1.2.2 聲波清洗的歷史、類別和優點 004
1.2.3 聲波清洗的原理 006
1.3 聲波技術的套用趨勢 007
1.3.1 聲波清洗在微電子工業中的重要性 008
1.3.2 在牙科中的套用 012
1.3.3 在海洋生物學中的套用 013
1.3.4 超音波在食品工業中的套用 016
1.3.5 過濾過程中的膜清洗 019
1.3.6 創新的套用 020
1.4 利用聲波清除污染物和顆粒物 022
1.4.1 污染物類型 022
1.4.2 顆粒物去除的常規技術 022
1.4.3 聲學去除微粒和納米顆粒 025
1.5 小結 027
參考文獻 027
第2章 可剝離塗層在清除表面污染物中的套用 034
2.1 引言 035
2.2 塗層簡介 035
2.2.1 塗層性能 036
2.3 可剝離塗層的套用 036
2.3.1 光學表面 036
2.3.2 其他套用 042
2.4 關於可剝離塗層的問題 056
2.5 小結 057
致謝 057
免責聲明 058
參考文獻 058
第3章 二氧化碳雪清洗套用 068
3.1 引言 069
3.2 CO2 雪清洗-背景 069
3.2.1 熱力學 069
3.2.2 清洗機理 069
3.3 設備和過程控制 070
3.3.1 噴嘴和設備 070
3.3.2 過程控制 070
3.4 套用 071
3.4.1 表面科學 072
3.4.2 望遠鏡鏡面的清洗 074
3.4.3 半導體套用 075
3.4.4 薄膜 077
3.4.5 其他套用 077
3.5小結 078
參考文獻 078
第4章 固態二氧化碳（乾冰）球粒噴射在去除表面污染物中的套用 083
4.1 引言 084
4.2 表面污染和表面清潔度等級 085
4.3 CO2 球粒清洗影響因素 086
4.3.1 相行為 086
4.3.2 乾冰的性質 087
4.3.3 CO2 球粒清洗機理 087
4.3.4 工藝說明 088
4.4 清洗系統 090
4.4.1 球粒生產 090
4.4.2 輸送系統 092
4.4.3 噴嘴 093
4.4.4 輔助設備 094
4.5 套用實例 094
4.5.1 半導體工藝組件的清洗 097
4.5.2 化學氣相沉積反應釜清洗 097
4.5.3 金屬清洗和表面處理 097
4.5.4 工業織物清洗 098
4.5.5 食品與飲料加工設備 098
4.5.6 害蟲除滅 098
4.5.7 醫療器械清洗 099
4.5.8 藥物低溫球磨 099
4.5.9 核去污 100
4.5.10 設施維護 101
4.5.11 文物保護套用 101
4.5.12 油田工具清洗 102
4.5.13 清洗通風管和排水管 102
4.6 其他 102
4.6.1 成本 102
4.6.2 優點和缺點 104
4.7小結 105
致謝 106
免責聲明 106
參考文獻 106
第5 章 液態CO2 在去除表面污染物中的套用 121
5.1 引言 122
5.2 表面污染和清潔度 122
5.3 液態CO2 的特徵 123
5.3.1 CO2 為稠密相流體 123
5.3.2 液態CO2 123
5.3.3 液態CO2 清洗原理 128
5.3.4 清洗系統 129
5.3.5 套用實例 131
5.4 其他 134
5.4.1 成本 134
5.4.2 液態CO2 清洗的優點和缺點 134
5.5 小結 135
致謝 136
免責聲明 136
參考文獻 136
