表面化學分析二次離子質譜矽中硼深度剖析方法

國家標準《表面化學分析 二次離子質譜 矽中硼深度剖析方法》 由TC38（全國微束分析標準化技術委員會）歸口，TC38SC2（全國微束分析標準化技術委員會表面化學分析分會）執行 ，主管部門為國家標準化管理委員會。

2021年5月21日，《表面化學分析 二次離子質譜 矽中硼深度剖析方法》由國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會發布，並於2021年12月1日實施。

基本介紹

• 中文名：表面化學分析 二次離子質譜 矽中硼深度剖析方法
• 頒布時間：2021年5月21日
• 實施時間：2021年12月1日
• 發布單位：國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會

修訂信息

2021年5月21日，《表面化學分析 二次離子質譜 矽中硼深度剖析方法》由國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會發布，並於2021年12月1日實施。

起草工作

主要起草單位 中國電子科技集團公司第四十六研究所 。

主要起草人 馬農農 、何友琴 、陳瀟 、張鑫 、王東雪 、李展平 。