表面光電壓法

表面光電壓法(surface photovoltage method)，簡稱SPV 法，是通過測量由於光照在半導體材料表面產生的表面電壓來獲得少數載流子擴散長度的方法。原理是: 用能量大於半導體材料禁頻寬度的單色光照射在半導體材料表面，在其內部產生電子-空穴對，受濃度梯度驅動擴散至半導體材料近表面空間電荷區的電子和空穴將被自建電場分離，形成光生電壓，即表面光電壓。

基本介紹

• 中文名：表面光電壓法
• 外文名：surface photovoltage method
• 定義：通過測量由於光照在半導體材料表面產生的表面電壓來獲得少數載流子擴散長度的方法

根據表面光電壓與人射單色光的光子流密度、波長、材料對光的吸收係數和少子擴散長度之間的關係可得到少子擴散長度，進而可以獲得少子壽命。SPV法是表征半導體材料少子擴散長度的主要方法，其優點有: ①是一種穩態方法，與時間無關，從而避免了體內和表面複合對測試結果的影響；②一般情況下，表面複合過程不影響少子擴散長度的測試結果，表面複合速率只對表面光電壓信號強度產生影響，因而無須特殊處理材料的表面； ③是一種無接觸的測試方法，其測試成本低、易於操作、不容易受到干擾，而且可以實施面掃描(mapping)。