衍射光學元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻機中一系列可動的鏡片(圖1所示),主要用於產生光刻所需要的光源。一台光刻機的光源大概有4000片鏡片。
基本介紹
- 中文名:衍射光學元件
- 外文名:Diffractive Optical Elements
- 英文縮寫:DOE
衍射光學元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻機中一系列可動的鏡片(圖1所示),主要用於產生光刻所需要的光源。一台光刻機的光源大概有4000片鏡片。
衍射光學元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻機中一系列可動的鏡片(圖1所示),主要用於產生光刻所需要的光源。一台光刻機的光源大概有4000片鏡片。...
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