《薄膜電晶體(TFT)陣列製造技術》是2007年09月復旦大學出版社出版的圖書，作者是谷至華。這本書主要介紹非晶矽（amorphoussilicon，a-Si）TFT陣列大規模生產的製造技術。
基本介紹
- 書名：薄膜電晶體(TFT)陣列製造技術
- 作者：谷至華
- ISBN：9787309056556
- 定價：45.00 元
- 出版社：復旦大學出版社
- 出版時間：2007年09月
- 開本：16開
內容提要,目錄,
內容提要
高質量的平板顯示器的核心是薄膜電晶體（Thinfilmtransistor,TFT）矩陣的特性和製造技術。
全書共13章，從TFT元件的結構及特點，到TFT檢查與修復。包括TFT陣列製作清洗工藝，成膜工藝，光刻工藝，不良解析和檢查修復。從TFT陣列大規模製造的角度，第一次比較全面的介紹了TFT-LCD生產線的TFT陣列製造工藝技術，工藝參數，生產工藝技術管理，工藝材料規格，設備特性，品質控制，產品技術解析。以工藝原理，設備參數控制，材料特性要求，生產工藝檔案要求等大規模生產技術要素為核心，比較完整的介紹了現代化信息製造業的工藝流程與工藝管理。
本書可作為平板顯示行業工程師，技術人員，管理人員的參考用書，也可供高等院校相關專業方向研究人員，研究生以及相關行業從業人員參考。
目錄
引言
第一章 TFTLCD生產線建設
第二章 TFT元件的結構及特點
第三章 TFT工藝概述
第四章TFT陣列製作清洗工藝
第五章 濺射成膜（金屬膜）
第六章 CVD成膜（非金屬膜）
第七章 曝光與顯影工藝技術
第八章 濕刻工藝技術
第九章 乾刻工藝技術
第十章 光刻膠剝離與退火
第十一章 缺陷解析技術
第十二章 TFT檢查與修復
第十三章 TFT製造工藝小結與技術展望
參考文獻
