薄膜電晶體原理及套用

內容簡介

本書共分7章。第1章簡單介紹了薄膜電晶體的發展簡史；第2章詳細闡述了TFT在平板顯示有源矩陣驅動中的套用原理；第3章深入講解了薄膜電晶體相關的半導體、絕緣體和電極材料物理；第4章詳細闡述了非晶矽TFT和多晶矽TFT器件物理的相關基礎知識；第5章系統介紹了TFT製備的單項工藝原理；第6章仔細講解了非晶矽TFT陣列和多晶矽TFT陣列工藝整合原理；第7章簡單總結全書並展望了以aIGZO TFT為代表的非晶氧化物薄膜電晶體技術的發展趨勢。每章後附有習題，可供課堂練習或課後作業使用。

圖書目錄

第1章緒論

1.1薄膜電晶體發展簡史

1.2薄膜電晶體的技術分類及比較

1.3薄膜電晶體的套用簡介

1.4本書的主要內容及架構

習題

參考文獻

第2章平板顯示的有源矩陣驅動

2.1平板顯示簡介

2.1.1顯示技術的分類及特性指標

2.1.2平板顯示的定義和分類

2.1.3液晶顯示器件的基本原理

2.1.4有機發光二極體顯示的基本原理

2.2液晶顯示的有源矩陣驅動

2.2.1液晶顯示的靜態驅動和無源矩陣驅動簡介

2.2.2AMLCD像素電路的充放電原理

2.2.3AMLCD像素陣列的相關原理

2.2.4液晶顯示有源矩陣驅動的特殊方法

2.2.5液晶顯示有源矩陣驅動的技術要求

2.3有機發光二極體顯示的有源矩陣驅動

2.3.1有機發光二極體顯示的無源矩陣驅動簡介

2.3.2有機發光二極體顯示的有源矩陣驅動基本原理

2.3.3有機發光二極體有源矩陣驅動的技術要求

2.4本章小結

習題

參考文獻

第3章薄膜電晶體材料物理

3.1非晶矽材料物理

3.1.1非晶體簡介

3.1.2非晶矽材料結構

3.1.3非晶矽電學特性

3.2多晶矽材料物理

3.2.1多晶體簡介

3.2.2多晶矽材料結構

3.2.3多晶矽電學特性

3.3薄膜電晶體絕緣層材料

3.3.1絕緣層介電特性

3.3.2絕緣層漏電特性

3.3.3氮化矽薄膜

3.3.4氧化矽薄膜

3.4薄膜電晶體電極材料

3.4.1導電材料簡介

3.4.2TFT用鋁合金薄膜

薄膜電晶體原理及套用

基本介紹

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