薄膜結構X射線表征

內容簡介

本書結合作者二十多年來的工作積累和國內外最新進展，系統介紹套用X射線衍射和散射技術表征薄膜微結構的多種基本實驗裝置、實驗數據分析理論以及典型的薄膜微結構表徵實例。全書分3篇(共19章)：第1篇為基本實驗裝置(第1～3章)，主要介紹X射線源、X射線準直和單色化、各種探測器以及薄膜X射線衍射儀和表面/界面散射裝置。第2篇為基本理論(第4～10章)，介紹薄膜X射線衍射和散射實驗數據分析所用的相關理論，包括用於薄晶體或小晶體多層膜和金屬多層膜的X射線衍射運動學理論；用於近完美多層膜、半導體超晶格和多量子阱的X射線衍射動力學理論；用於原子密度和晶格參數很接近的金屬多層膜的X射線異常衍射精細結構理論；用於薄膜和多層膜表面與界面分析的X射線反射、漫散射理論以及掠入射衍射理論。基本覆蓋了目前套用X射線衍射和散射技術研究薄膜結構所需要的理論。第3篇為薄膜微結構表征(第11～19章)，介紹套用X射線衍射和散射技術表征薄膜微結構的實例，除了總結作者二十多年來在薄膜研究中所解決的微結構表徵實例外，還儘量收集近年來國內外有關的重要結果，以供讀者參考。薄膜的種類涉及半導體外延膜及超晶格材料、超導異質薄膜材料、金屬磁性多層膜材料、軟物質薄膜和有機半導體薄膜。表征的微結構包括單層膜和多層膜厚度、點陣參數、應力、表面與界面、缺陷、弛豫橫向、調製結構以及鈣鈦礦結構氧八面體畸變。

編輯推薦

本書力圖理論聯繫實驗、深入淺出，而又不失先進性、實用性和普適性。可供從事薄膜材料和器件研究的研究人員和工程技術人員參考，對從事薄膜材料和器件研製與開發的專業人員也有參考價值，也可作為高等院校和研究院所凝聚態物理、材料科學和有關薄膜科學技術專業及相關專業的教師和研究生的教學用書和參考書。

書籍目錄

第二版前言

第一版序

第一版前言

第1篇基本實驗裝置

第1章X射線源與X射線探測麥振洪賈全傑3

1.1X射線源3

1.1.1X射線產生和X射線譜3

1.1.2封閉式X射線管4

1.1.3同步輻射光源6

1.2X射線準直和單色化9

1.2.1狹縫10

1.2.2雙晶單色器10

1.2.3多晶單色器13

1.3X射線探測器15

1.3.1計數器15

1.3.2位置靈敏探測器18

1.3.3面探測器19

參考文獻19

第2章薄膜X射線衍射儀李建華21

2.1高分辨共面X射線衍射儀21

2.2掠入射衍射裝置27

2.3測量解析度的分析28

參考文獻30

第3章表面/界面X射線散射羅光明麥振洪31

3.1固體表面/界面X射線反射和漫散射裝置32

3.2液體表面/界面X射線反射和散射裝置34

薄膜結構X射線表征

基本介紹

內容簡介

編輯推薦

書籍目錄

相關詞條

熱門詞條