薄膜材料——應力、缺陷的形成和表面演化


		[美]L.B.Freund S.Suresh 著；盧磊譯
		科學出版社		2007年1月出版
		定價：138.00		語種：中文
		標準書號：978-7-03-013427-1		裝幀：精裝
		版本：第一版		開本：B5
		責任編輯：胡凱		字數：769千字
		讀者對象：研究生以上文化程度		頁數：628
		書類：理論專著/研究生教育		冊/包：3
		編輯部：科學數理分社
		附註：

內容簡介

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本書總結了過去幾十年里薄膜材料的研究進展，同時將重點放在薄膜中內應力的起源、發展及其影響等諸多方面，書中不僅系統考慮了薄膜-基底系統或多層膜系統的整體變形及薄膜的斷裂、脫層和翹曲，而且還考慮了更小尺度上薄膜中位錯的形成及非彈性變形。薄膜中應力的影響與薄膜材料結構之間的聯繫貫穿於整書的討論。通過舉例計算和有實際意義的實例分析及討論，更加具體地闡明了書中的基本概念，並於每章後附有習題。
本書可供從事材料科學和工程及相關研究領域工作，特別是從事薄膜材料研究的科技人員和微電子機械領域從事設計製造的工程技術人員閱讀，也可作為有關專業的研究生和大學高年級本科生的教材和參考書。本書英文版被美國哈佛大學、布朗大學、麻省理工學院、史丹福大學等大學用作研究生教材。

薄膜材料——應力、缺陷的形成和表面演化

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