薄膜應力測量系統

薄膜應力測量系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2010年8月26日啟用。

基本介紹

• 中文名：薄膜應力測量系統
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2010年8月26日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

應力測量範圍：10E-2MPa~幾十GPa；測量精度：優於0.1MP或者0.25%；數據採集，系統控制，自動雷射光點檢測；實時曲率、曲率半徑、應力強度、應力、翹曲數據採集和圖像顯示。

主要功能

測量薄膜應力和曲率。